洁净室系统节能概念与实务应用-台湾科学工业园区科学工业同业公会.PDF

2012新竹科學園區節能講習講座教育訓練研習會 主辦單位：科學工業園區管理局 執行單位承研能源科技股份有限公司: 第二場 潔淨室系統節能概念與實務應用 胡石政 博士 台北科技大學能源與冷凍空調工程系教授 潔淨技術研發中心主任 Tel:023588 Cellphone:0928300329 .tw/~f10870 內容大綱 1.各國潔淨室節能技術比較介紹 (40 mins) 2.潔淨度指標介紹(30 mins) 3. FDCU原理及節能應用(30 mins) 4.潔淨室節能案例實務介紹(40 mins) 1.各國潔淨室節能技術比較介紹  「高科技產業」為我國重要產業，而電子業( 半 導體、面板 ) 為高耗能產業  「高科技產業」中屬於「消極性」的投入亦即 「生產成本」；因此對生產者而言消耗是越少越 好以節省成本  製造業電力消耗占71%, 電子零組件製造業消耗電 力占總電力16.6% 96全國能源消耗 農、林、漁、牧業 2.1% 3.5% 礦業及土石採取業 7.9% 製造業 0.8% 2.0% 水、電、燃氣業 0.9% 營造業 0.4% 3.2% 批發、零售及餐飲業 運輸、倉儲及通信業 5.9% 金融、保險及不動產業 0.4% 工商服務業 1.9% 社會服務及個人服務業 公共行政業 71.0% 其他不能歸類之行業 96年全國電力消耗 製造業電力消耗 電子零組件製造, 16.6% 其他, 83.4%  台灣地區電子工企業所有人要的經營型態為代工 大量生產，是故如何降低製造成本，是經營團隊 與廣大投資者所關心的課題  SEMATECH便進行相關的半導體工業耗能研究， 並根據半導體制程未來的發展趨勢，訂定了相關 的進程圖(Roadmap) ，使未來在半導體制造之耗能 合乎環保及降低成本 半導體設設施耗能要求路程圖 前言(續)  自2003年以後之七年內，晶圓尺寸將不像上 世紀末，晶圓尺寸在短短十年內由125mm飛 躍成長為300mm等級  未來潔淨廠房尺寸需求將不像過去有著驚 人的成