ausio2复合纳米颗粒膜的制备及退火行为研究 preparation of ausio2 composite nanoparticle films and study on its annealing behavior.pdfVIP

纳米材料与结构 NanomateriaI＆Structure Au／Si02复合纳米颗粒膜的制备 及退火行为研究 张秋霞，李玉国，王建波，张敬尧，崔传文，张月甫 (山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所，济南 250014) 观结构进行了表征。SEM结果表明，随着退火温度升高，Au纳米颗粒先形成大的聚集后出现分 oC时Au的衍射峰最强，随后峰强有所减弱，这与SEM 布均匀的超微颗粒。XRD结果显示700 检测结果相吻合。另外实验结果证实在1000℃退火时自组装生成空间分布均匀(直径约为70 nm)的Au纳米点，可以用来作为生长一维纳米材料的模板。 关键词：复合纳米颗粒膜；磁控溅射；金／二氧化硅；自组装；模板 文献标识码：A 中图分类号：0484．1；0484．5 of Films Au／Si02 Nanoparticle Preparation Composite and onIts Behavior Study Annealing Yuefu Chuanwen，Zhang ZhangQiuxia，LiYuguo，WangJianbo，ZhangJingyao，Cui of of and Normal Universitty，Ji’nan (InstituteSemiconductor，CollegePhysicsElectronics，Shandong 250014，China) filmswere 011s 11 Abstract：Au／Si02 preparedt 1)substratesbymagnetron compositenanoparticle atroom microstruetureandthesurface ofAu／Si02 sputteringtemperature．The morphology composite filmsannealedatdifferent werecharacterized electron temperatures throughscanning microscope and diffraction resultsdemonstratethatwith (SEM) X．ray (XRD)．SEM increasingannealing ofAu form thenultramicro nanoparticlesfirst，and nanoparticles temperature，thelargeagglomeration