au点阵模板控制生长zno堆垒单晶棒 growth of stacked zno single-crystal rods controlled by au-dot template.pdfVIP

纳米材料与结构 姆 NanomateriaI＆Structure Au点阵模板控制生长ZnO堆垒单晶棒 军 ， 薛成山1 孙海波1’2，石 锋1，曹玉萍1，郭永福1，刘文 (1．山东师范大学半导体研究所，济南250014l2．山东交通学院数理系，济南250023) Au点阵模板上溅射ZnO薄膜，02气氛下1000℃退火制备了ZnO堆垒单晶棒。研究了不同直 径Au点阵模板对ZnO单晶棒结构性能的影响。采用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜 果表明，生成有序排列的Zn0棒均由诸多六方纤锌矿单晶堆垒而成，较小Au点阵生成单晶棒 nm 的直径约为100nm。室温光致发光PL谱表明在376am出现一个较强近紫外发射，在488 附近出现一个较宽的深能级绿光发射，说明所制备样品具有良好的发光特性。 关键词：氧化锌；Au点阵模板；磁控溅射；单晶堆垒；光学特性 中图分类号：TB383；TN304．21 Stacked Rods Growthof ZnO Single-Crystal ControlledAu-Dot by Template SunHaib01“，Shi Yupin91，GuoYongful，LiuWenjunl，XueChengshanl Fen91，Cao (1．Institute Normal 250014，China； ofSemiconductors，ShandongUniversity，Ji7naYl Mathematicsand i7挖口竹250023，China) 2．Departmentof Physics，ShandongJiaotongUniversity，j at900℃whichwere Au-dot were Aufilms Abstract：Thetemplatessynthesizedbyannealing the 1 with ZnOfilmswere on Si(11)substrate system．The deposited magnetronsputtering ontheAu—dot with the wereannealedat1 000℃in samples deposited templatessputtering．then tofabricateZnOstacked rods．TheeffectsofAu—dot withdifferent 02 single-crystal templates of rodswereresearch