ebl制备用于气体传感器的saw延迟线的方法 fabrication of saw delay-line for gas sensors by ebl.pdfVIP

第32卷第3期 压电与声光 V01．32No．3 2010 2010年6月 PIEZOEI。ECTRICS＆ACOUSTOOPTICSJune 文章编号：1004—2474(2010)03—0340—03 EBL制备用于气体传感器的SAW延迟线的方法 赵以贵，刘 明，牛洁斌，陈宝钦 (中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室，北京100029) 摘要：电子束光刻(EBL)具有高的分辨率，能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAw)器件。一种采用EBL 技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法：首先利用EBI。在压电衬底上获得叉指换能器 (IDT)的电子抗蚀剂图形；然后用剥离工艺制作出IDT电极。通过邻近效应校正和提高场拼接精度，制作的叉指 电极具有一致性，电极形貌好。相肘于干法刻蚀工艺，剥离工艺避免了对压电衬底表面的物理损伤。该技术为实 现特征尺寸达到百纳米级的更高工作频率SAW器件的制造提供了很好的途径。 关键词：电子束光刻；剥离；声表面波延迟线；叉指换能器 中图分类号：TN65 文献标识码：A ofSAW forGasSensorsEBL Fabrication Dclay—line by ZHAO Jiebin，CHENBaoqin Yigui，LIUMing，NIU andNovelDevices ofMicroelectronics， Lab．ofNano-fabrication IntegratedTechnology。Institute (Key Chinese of AcademySciences，Beijing100029，China) Abstract：Sub-micronsurfaceacousticwave(SAW)devicescanbefabricatedtheelectronbeam by lithography (EBI。)forresolution．Antofabricatesub-micronSAW for sensors EBLand high approach delay—linegas byusing metallift—offwas asfollows：firstto transducer(IDT)resistonthe presented getinterdigital pattern piezoelectric the substrateEBI。；thentOobtainIDTelectrodesmetal thecorrectionof effectand by using lift—off．By proximity IDT withthe offield inEBL，consistentandwell—structuredwas improvementsplicingaccu