idtalnlinbo3结构声表面波滤波器模拟和分析 the modeling and analysis of surface acoustic wave filter based on idtainlinbo3.pdfVIP

第30卷第6期 压电与声光 V01．30No．6 2008正12B PIEZOELECTECTRICS＆ACoUSToOPTICSDec．2008 文章编号：1004—2474(2008)06—0655—03 李健雄1，杨成韬1，王 锐1，陈运祥2，张树人1 (1．电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成四川压电与声光技术研究所。重庆400060) 摘 (10kin／s)的纵向假声表面波模式。对研究得到的二次模进行了归一化插入损耗频率响应的模拟，其结果与文 献报道的实验结果基本一致。 关键词：声表面波；AlN薄膜；假声表面波；模拟 中图分类号：TN65 文献标识码：A Basedon The and ofSurfaceAcousticWaveFilter ModelingAnalysis IDT／AlN／LiNb03 LI Ruil，CHENG Shu-renl Jian-xion91，YANGCheng-ta01，WANGYun—xian92，ZHANG of (1．StateLab．ofElectronicThinFilmand ofElectronicScience＆TechnologyChina， Key IntegratedDevices，University Institureof 400060，China) Chengdu610054．China；2．Sichun characteristicsofsurfaceacousticwave(SAW)basedonthestructureof Abstract：Thefrequencydispersive are resultsinthe of SAWmode． IDT／AIN／LiNb03theoreticallyinvestigated，whichdiscoverylognitudinalpseudo The coefficientis than acousticis than10 nor— electromechanical bigger18％，and speedhigher km／s．The coupling insertloss issimulatedthesecondmode，whichis consistenttothe malized response using basically repor— frequency ted result。 thin words：SAW；AINfilm；pseudo Key SAW；modeling 目前，层状结构声表面波(SAW)滤波器因具其他变量通过材料的动力学方程和本构方程可消 有高声速、高机电耦合系数、高温度稳定性等特点， 去。 已逐渐取代单晶SAw滤波器而成为科研和商业开 发的热点。A1N具有高表面波声速和高温度稳定 性的特点，且其机电耦合系数也在实用范围内，因此 采用其作压电材料可降低制作高频SAW滤波器时