mems二维静电驱动扫描镜设计和分析 design and analysis of mems 2d electrostatic scanning mirrors.pdfVIP

与 MEMS器件技术 MEMS Device Technology 二维静电驱动扫描镜设计和分析 犕犈犕犛 马文英姚军任豪王大甲 ， ， ， 　 　 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都 （ ， ） ６１０２０９ 　 摘要：给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案，所设计的扫描镜具有绕轴和 犡 犢 轴转动的两个自由度并具有体积小功耗低频率高等优点推导了镜面旋转角表达式并分析 ， 、 、 。 了吸合效应。 ， 。 利用 工艺完成了对扫描镜的加工并着重分析了关键工艺步骤结 ＰＯＬＹＭＵＭＰＳ 对微扫描镜的频率特性以及静态旋转特性进行了分析和研究分析结果表 合有限元分析软件， 。 明， ， 在 和 的电压下扫描镜可分别产生沿轴方向的 和沿轴方向 的 １２０Ｖ１６０Ｖ 犡 ±５．０°犢 ±４．４° 优化后的扫描镜能够工作在单频率状态下具有较高的响应速度 偏转角。 ， 。 关键词： ；二维扫描镜；模态；动态响应；偏转角 ＭＥＭＳ 文献标识码 文章编号 中图分类号： ； ： ： （ ） ＴＨ７０３ＴＰ２１１．６ Ａ １６７１－４７７６２００９０５－０２９６－０５ 　 　 犇犲狊犻狀犪狀犱犃狀犪犾狊犻狊狅犳犕犈犕犛２犇犈犾犲犮狋狉狅狊狋犪狋犻犮犛犮犪狀狀犻狀犕犻狉狉狅狉狊 犵 狔 犵 ， ， ， ＭａＷｅｎｉｎＹａｏＪｕｎＲｅｎＨａｏＷａｎＤａｉａ ｙｇ ｇｊ （ ， 犛狋犪狋犲犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉狅犗狋犻犮犪犾犜犲犮犺狀狅犾狅犻犲狊狅狉犕犻犮狉狅犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 狔 狔犳狆 犵犳 犳 犳 ，