mems微针的最新研究进展 latest research progress of mems microneedles.pdfVIP

MEMS与传感器 MEMS微针的最新研究进展 曹玉田“b，朱 军“6，曹 莹钆6，李以贵舢b， 陈 翔8一，陈 迪8·b (上海交通大学微纳科学技术研究院a．微米纳米加工技术国防科技重点实验室； b． 薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200030) 摘要：介绍了MEMS微针技术在微针制备工艺、力学和流体性能模拟以及透皮给药方面研究的 近况。描述了硅、金属和聚合物材料的微针制备工艺，分析了这些材料在MEMS微针应用上的 优缺点。比如硅微针制备工艺成熟但是硅的质地太脆；金属微针机械强度高却不易载药；聚合物 微针易于批量化复制但是机械强度差。进一步阐述了微针研究取得的进展，总结了微针技术发展 需要解决的关键问题。微针制备工艺已经日趋成熟，微针将朝着可复制化、批量化方向发展，微 针经皮给药将逐渐从动物实验转移到人体实验，以实现微针研究的最终目的——临床给药。 关键词：微电子机械系统(MEMS)；微针；可溶性聚合物微针；经皮给药；流感病毒疫苗 LatestResearch ofMEMSMicroneedles Progress CaoYutian‘·‘，Zhu Di8·。 Jun·“，CaoYin98·6，LiYigui4·“，ChenXian94·6，Chen Fabrication Filmand (a．NationalLaboratoryNano／Micro yo，．Thin Key of Technology；b．KeyLaboratory Micro the Institute Scienceand Fabrication Education，ResearchMicro／Nanometer of Ministryof of Jiao 200030，China) Technology，ShanghaiTongUniversity，Shanghai the Abstract：Therecent of microneedle ofmechanical progress preparationprocess，simulation andfluidic andtransdermal fortheMEMSmicroneedleisin— properties drugdelivery technology of and materialsde— troduced．Themicroneedle silicon，metal are preparationprocesses polymer the and ofthosematerialsinthe ofMEMSmi- scribed，and advantagesdisadvantages application croneedleare ofsiliconmicroneedleismatureb