lcd切割裂片不良及解决方法 the defects of lcd scribing and breaking,and its solution.pdfVIP

宋新华．范志新：LCD切割裂片不良及解决方法 文章编号：1006-6268(2010)11-0018-05 蒗 LC 术 D切割裂片不良及解决方法 交 施 宋新华12．范志新1 (1．河北工业大学理学院。天津300400；2．江门亿都半导体有限公司，广东江门529000) 摘 要：文章汇总了LCD后制程中切割裂片的常见不良，根据切割裂片原理，分析了不良产生 的原因，并通过实验给出了改进的方法。 关键词：LCD；后制程；切割裂片 中图分类号：TNl41．9 文献标识码：B TheDefectsofLCD and ItSSolution ScribingBreaking，and Zhi—xinl SONGXin—hual一。FAN of of 300400，China； (1．DepartmentAppliedPhysics，HebeiUniversityTechnology，Tianjin YeeboSemiconductor 2．Jiangmen Co．，Ltd．，JiangmenGuangdong529000，China) of and wascollected．Thereasons Abstract：ThecommondefectsLCD scribingbreaking thedefectswas tothe and breaking casing analyzed，accordingscribing principle．The was the improvementsgiventhroughexperiment． Keywords：LCD；back-endprocess；scribingbreaking 引 言 切割裂片对于LCD的制程是很重要的。LCD玻 璃的切割工艺就是使用具有一定硬度的刀轮，在一 定压力下，划过玻璃表面，从而在玻璃表面形成一道 液晶显示器(LCD)以其优于阴极射线管(CRT) 显示器的轻薄、无辐射、无污染、功耗低、寿命长和极 深切槽，必要时借助裂片工艺，使得在切割时形成的 易数字化显示等优点，仅仅20余年便风靡电子产 深切槽贯穿整个玻璃的厚度，使玻璃分离。 业界。尤其是薄膜晶体管液晶显示器(TFT—LCD)， 更以清晰度高、容量大、易于实现大规模集成化生产 1 原理[司 和全彩色显示的优点，LCD产品的市场份额超过了 90％，成为21世纪液晶领域甚至平板显示技术领1．1 切割原理 域极有发展前途的技术之一H捌。在LCD制造工艺的 在切割工艺中，所使用的刀轮的材质硬度是大 切割／裂片制程中，切割机在切割过程中的机械加 干玻璃硬度的。切割时对刀轮施加一定的切割压力， 工应力所导致的成品低、成本高等缺点是长期困扰 使刀轮能在刀座的