pyrex7740玻璃深刻蚀研究 investigation on deep etching of pyrex 7740 glass.pdfVIP

第! 期 微细加工技术 45 ! ##$ 年 月 %’()*+,(’+-). -/’0.)1)23 *675 ，##$ 文章编号：!##=:;!=（##$ ）#!:##A!:#A BCD6E$$# 玻璃深刻蚀研究 !， ! !， ! 明安杰 ，李8 铁 ，刘文平 ，王跃林 （!5 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室 微系统技术国家级重点实验室，上海###A# ；5 中国科学院研究生院，北京 !###= ） 研究了以-FGH +I 为掩膜，在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中BCD6E$$# 玻璃的湿法深刻蚀 摘要： 现象。实验发现，在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高，室温下纵H 横向侧 蚀比最小。在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率，当硝酸含量为!#J 时