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压电致动超精密定位平台-kuas.edu.tw.ppt
壓電驅動超精密定位平台 指導教授:黃世疇 教授 學 生:陳浴祥 精密定位的等級 精密定位是0.1~1μm的精度 超精密定位是0.001~0.1μm的精度 致動器 壓電致動器(PZT)的優點 撓性鉸鏈 * * 國 立 高 雄 用 應 科 技 大 學 背景 早期:顯微鏡(STM, AFM, …) 近期:高科技產業(半導體、光電、 精密量測檥器…) 本文是設計一個單層的撓性結構，完成能夠做XYΘz三自由度的精密定位平台。利用撓性鉸鏈為基礎的撓性結構配合積層式壓電致動器，通入電壓的大小使壓電材伸縮，以達到施力的目的，驅使結構產生精密微小變形(也就是材料的滑移現象)，進而到達奈米級的5nm位移解析度。 10 s 10-2kg/mm2 100μm 100㎜ 空氣壓缸 1 s 10kg/mm2 10?m 1000㎜ 油壓缸 1 ms 30kg 0.1?m 1㎜ 電磁致動器 0.1 ms 3kg/mm2 0.01?m 0.1㎜ 壓電致動器 響應速度 發生力 精度 振幅 種類 具有奈米級的解析度，響應頻寬可達到千赫等級，它擁有耗電量少、無雜訊、體積小、反應快、發熱少、精密度佳、轉換效率高和控制容易以及有足夠的剛性、系統結構簡單、無電磁干擾、、等多方面的優點 。 更高精密度 單層結構實現更多自由度 更長行程 微小化(不站空間) 設計方針 撓性鉸鏈具有無餘隙、不需潤滑、沒有摩擦的優點，唯一消耗能量的地方是最薄處變形時分子的內摩擦力所造成。 旋轉平台
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