微机电系统元件之微奈米磨润问题.docVIP

微機電系統元件之微/奈米磨潤問題 Micro/Nanotribology Issues in the MEMS Devices 方治國 Chih-Kuo Fang 中華技術學院機械系教授兼系主任 Professor, Chairman Department of Mechanical Engineering China Institute of Technology 摘 要 雖然表面微細加工技術近年已有相當程度的進展，然而摩擦、黏附、及磨耗現象仍為微機電系統元件之關鍵問題，嚴重影響其可靠度，因而限制了微機電系統之實用化。本文討論近年來關於微機電系統摩擦及磨耗之研究、探討影響此系統摩擦行為之表面效應、比較微小尺寸與巨觀尺寸摩擦特性之差異、並探討機電系統元件之減磨策略。 關鍵字：微機電系統、摩擦、磨耗、潤滑、微型元件。 Abstract Despite much progress in surface micromachining technology, friction, adhesion, and wear remain key issues, severely limiting the realization and reliability of many microelectromechanical systems (MEMS) devices. Recent researches on friction and wear in MEMS were reviewed and discussed in this paper. The surface effects influencing the frictional behavior in MEMS were discussed. The friction properties for micro and macro scales were compared. The methods to reduce the friction and wear in MEMS were also discussed. Keywords: MEMS, tribology, friction, wear, lubrication, micro devices. 前 言 微機電系統（Microelectromechanical system, MEMS）iniaturised machines or moving (or micro) mechanical assemblies, MMAs) 之設計及製造，其尺度約為數十至數百微米。由於微機電系統具有體積小、質量輕、耗能低、集成度及智能化程度高等特點，因此自1980中後期興起後，一直受到極大的關注，並投入大量研究。在應用方面，目前Faulhaber Motoren 及 Institut fur Mikrotechnik Mainz GmbH (IMM) 兩家公司已經能夠生產直徑1.9 mm之微型驅動器（Micro Drives）。微型驅動器主要由微型馬達及微型齒輪箱組成，因此微形元件（例如微形齒輪）技術之開發有其迫切性。 微形齒輪系統典型的工作條件為高輸入轉速及高齒數比，雖可藉由適當之設計（如漸開線、擺線、圓弧線等齒形）及製造方法（微放電加工、微射出、微電鑄、LIGA等）製作；然而對於微形元件不能視為傳統元件簡單地幾何縮小。由於結構尺寸微小化後，體積力（如：慣性力、電磁力）和表面力（如：表面張力、摩擦力、及潤滑膜黏滯力）間的相對關係發生變化1mm 縮減為 1μm，表面積縮減為 1/106，而體積縮減為 1/109，表面力體積力表面積效應遠超過體積效應，亦即作用在元件表面之表面力對於性能之影響要比體積力大很多，以致構件間之力學特性、幾何誤差、磨潤現象、以及在環境介質中之行為均大為不同。此磨潤問題突顯，以致在使用過程中機械結構的黏著、摩擦、及磨耗等現象常成為微形元件運轉的極大問題微形元件少許的磨耗對於微機電系統之性能及可靠度均有重要的影響，對其實用化產生極大的障礙。此外，微型齒輪不像傳統齒輪在機械加工後齒面可進行拋光作業，因此微型齒輪之齒面粗糙度所引發的磨潤問題更加重要。另一方面，由於微機電系統攜帶之動力源很小，應儘可能降低摩擦造成的能量耗損，甚至達到零摩擦之理想。因此相對於傳統元件而言，微型元件的磨潤問題更加突顯，微/奈米磨潤的研究在發展微機電系統上佔有相當關鍵的地位。 由於承襲微電子工業，目前微機電系統大多偏重於矽基材料及製程，微型元件材料以單晶矽、LPCVD 多晶矽膜、及其他陶瓷膜為主；在高溫應用上，碳化矽膜有逐漸取代多晶矽膜的趨勢。然而對於矽基材，由於與其結合能密度（Cohesive energy density）相關之因素