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中科院物理所技术部分析测试部.PDF

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中科院物理所技术部分析测试部

1 [] /labs/306/ 2017-08-09 22:38 2 Antpedia 010 8, 100080 shihj@ CC210E 3 70 1994IRIS2005 IRIS 1 2 3 4 5 6 7 / 4 IRIS Intrepid II 1.ICP 2.+ 3.60X110mm52.6/mm64.10190 50X100mm381mm 4. 165-1050nm(Br, Cl, I)18934 f/80.005nm(200nm) 0.3ppm10000ppmCa As193.696 5.CID26 28mmx28mm 6. -40 7.R.F. 27.12 MHz750- -1500W 8. 14 L/min0-1.5L/min15-45psi 9. 1.40-200rpm 2. 3., 4.

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