新日光多翼是送风机含风车主管工程技术移转案结案报告.PDF

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2017-08-28 发布于天津
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新日光多翼是送风机含风车主管工程技术移转案结案报告

新日光多翼是送風機含風車主管工程技術移轉案結案報告新日光多翼是送風機含風車主管工程技術移轉案結案報告 PV-Burn Tube測試報告 11.SiH4SiH4 ventvent gasgas排放管路圖排放管路圖 2. 以PV-Burn Tube處理SiH4 vent ggas安全考量及操作條件 3. 以PV-Burn Tube處理SiH4 vent gas測試結果經由Ａ/B site之測試結果發現，以PV-burn tube處理SiH4 vent gasgas效果佳效果佳。 SiH4 vent gas排放管路圖 SiH4 vent gas排放管路圖如圖左，高壓氣體配合vent bleed valve及PT3 ，控制控制SiH4SiH4流量低於流量低於55 sllm ，加上加上vacuum generattor之之 65 slm N2 ，SiH4濃度最高達約7% ，可有效進行燃燒反應。 Vent bleed valve及PT3配置圖以PV-Burn Tube處理SiH4 vent gas安全考量及操作條件 1.安全考量 a.當靜壓低於 (-0.2”H2O)及高於 (1.5”H2O) ，系統連鎖關閉vent valve ，停止停止 SiH4 gas vent 。 b.當風車故障時，系統連鎖關閉 vent valve ，停止SiH4 gas vent 。 2.操作條件 a.靜壓約固定在 (-0.5”H2O) ，風速約10~12 m/s b.SiH4b.SiH4 出口與風車距離約出口與風車距離約390cm390cm ，可有效避免火焰接觸風車可有效避免火焰接觸風車。 SiH4 vent gas 以PV-Burn Tube處理SiH4 vent gas測試結果 run 1-normal vent SiH4 conc. In the outlet of PV- timetime bburn tubbe (sec) (PPM) 0 0 5 5.1 10 9.2 15 20 20 25.1 25 18.2 30 13.2