第六章、电子束和离子束加工.ppt

* * * * * * 3、特点 第六章 电子束和离子束加工 加工精度高。离子束加工是目前最精密、最微细的加工工艺。离子刻蚀可达纳米级精度，离子镀膜可控制在亚微米级精度，离子注入的深度和浓度亦可精确地控制。 环境污染少。离子束加工在真空中进行，特别适宜于对易氧化的金属、合金和半导体材料进行加工。 加工质量高。离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的，加工应力和变形极小，适宜于对各种材料和低刚件零件进行加工。 * 第六章 电子束和离子束加工 4、应用 目前，离子束加工主要应用于刻蚀加工、镀膜加工、注入加工。 离子刻蚀：制造激光器和红外传感器的高性能非球面透镜和反光镜、光学系统中的衍射光栅、压电传感器用晶片、陀螺转子轴承表面上的复杂结构、微型加速计的精确质量块以及超精密加工用的单晶金刚石刀具。 LKJ系列离子束刻蚀系统 * 第六章 电子束和离子束加工 离子注入 （1）改变金属材料表面的力学性能，如提高硬度、耐磨性和抗疲劳性能； （2）改变金属材料的物理性能，如电性能、超导性能、光学性能及绝缘性能； （3）改变金属表面的抗腐蚀性能，如抗化学腐蚀和抗高温氧化性能等。 * 第六章 电子束和离子束加工 离子镀和离子溅射镀膜 （1）精密滚珠轴承采用离子镀膜后，使用寿命延长到数千小时； （2）刀具镀以几微米厚的TiN、TiC涂层后，寿命提高3~10倍； （3）在钛合金叶片上沉积一层贵金属（Pt、Au、Rh等）涂层，可使疲劳强度增加30%，抗氧化与耐腐蚀能力也大大提高。 双离子束溅射沉积系统 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 第六章 电子束和离子束加工 《精密与特种加工》 Precision and non-traditional machining * 主要内容 6.1 电子束加工 6.2 离子束加工 第六章 电子束和离子束加工 * 第六章 电子束和离子束加工 1、概述 电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工设备。 利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的一切方法统称为电子束加工。 6.1 电子束加工 * 第六章 电子束和离子束加工 电子束加工应用于：电子束焊接、打孔、表面处理、熔炼、镀膜、物理气相沉积、雕刻、铣切、切割以及电子束曝光等。 世界上电子束加工技术较先进的国家：德国、日本、美国、俄罗斯以及法国等。 经过几十年的发展，目前电子束加工技术已在核工业、航空宇航、精密制造等工业部门广泛应用。 * 第六章 电子束和离子束加工 在真空条件下，利用电子枪中产生的电子经加速、聚焦后能量密度为106～109w/cm2的极细束流高速冲击到工件表面上极小的部位，并在几分之一微秒时间内，其能量大部分转换为热能，使工件被冲击部位的材料达到几千摄氏度，致使材料局部熔化或蒸发，来去除材料。 电子束加工原理 2、加工原理 * （1）只使材料局部加热就可进行电子束热处理； （2）使材料局部熔化就可以进行电子束焊接； （3）提高电子束能量密度，使材料熔化和汽化，就可进行打孔、切割等加工； （4）利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理，即可进行电子束光刻加工。 第六章 电子束和离子束加工 控制电子束能量密度的大小和能量注入时间，就可以达到不同的加工目的。 * 电子束加工装置主要由以下几部分组成。 （1）电子枪。获得电子束的装置。它包括： 电子发射阴极—用钨或钽制成，在加热状态下发射电子。 控制栅极—既控制电子束的强弱，又有初步的聚焦作用。 加速阳极—通常接地，由于阴极为很高的负压，所以能驱使电子加速。 第六章 电子束和离子束加工 图6-2 电子束加工装置示意图 1-工作台系统；2-偏转线圈；3-电磁透镜；4-光阑； 5-加速阳极；6-发射电子的阴极；7-控制栅极； 8-光学观察系统；9-带窗真空室门；10-工件 3、加工装置 * 保证电子加工时所需要的真空度。一般电子束加工的的真空度维持在1.33×10-2~ 1.33×10-4 Pa。 （3）控制系统和电源。 控制系统包括束流聚焦控制、束流位置控制、束流强度控制以及工作台位移控制。 第六章 电子束和离子束加工 图6-2 电子束加工装置示意图 1-工