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第 ●0卷 第 1期 物 理 学 报 VoI_●0 No．I I991年 1月 ACTA pHYS C【A SIN 【CA Jan． I99I GeSil一／si超晶格的x射线小角衍射分析 周国良 沈孝良。’ 盛 麓 蒋维标 俞呜人 复旦大学表面物理实验室 ，上海 ，Z00435 1990年 1月 l3日收到 用分子束外延生长了 23周期的 GclSi～ ／Si趣晶格． 用计算机控制的衍射仪 (cu芷。辐 射)测量 了x射线衍射 曲线 ，共观察到 i3级趣晶格结构 的衍射峰．超 晶格 的周期和 Gt平均含 量可以根据考虑折射修正的布喇格定律得出．用光学多层膜反射理论分析衍射曲线可以确定 超晶络的结构参数，弟 2级衍射峰与第一级蜂的强度比对应于超晶格两种材料的相对厚度变 化非常灵敏，通过比较实验和计算的 fz／f．值，可以确定 si，Gesi… 屡的厚度以及台金组份 ． 用光学多层骥反射