68基于纳米运动平台的原子力显微镜开发-本原扫描探针显微镜spm.pdfVIP

高技术通讯 　2007 年 3 月 第 17 卷 第 3 期 基于纳米运动平台的原子力显微镜开发① ② 焦念东 　王越超 　席 　宁 　董再励 ( 中国科学院沈阳自动化研究所 　沈阳 110016) ( 中国科学院研究生院 　北京 110039) ( 美国密西根州立大学电子与计算机工程系 　兰辛 48824) 摘 　要 　采用一种无耦合、三轴精确定位的纳米运动平台作为扫描器 ,研制了一种新型原 ( ) 子力显微镜 AFM 。该AFM 有效消除了通常使用的单管式压电陶瓷扫描器扫描过程中 运动耦合产生的两种结构误差 ———交叉耦合误差和扫描范围误差 ,极大提高了纳米测量 及操作的精度。 关键词 　原子力显微镜 ,运动耦合 ,纳米运动平台 ,AFM 力曲线 n c . 0 　引 言 1 　纳米运动平台的开发 m ( ) o 原子力显微镜 atomic force microscope , AFM 作 我们所研制的 AFM 的主体部件是由纳米运动 为一种纳米级观测及操作装置已取得了很大发 平台构成的扫描器 ,该扫描器的性能直接影响 AFM c [13 ] . 展 。然而目前 AFM 的扫描器主要用 Binnig 和 整体的性能。为了实现 AFM 的纳米级观测功能 ,需 Smith 发明的单管式压电陶瓷驱动器带动扫描探针 要对纳米运动平台进行开发 ,实现其纳米定位及扫 [46 ] m 或样本进行扫描运动 , 由于单管式压电陶瓷运动 描运动功能。 时的弯曲运动使得扫描运动中水平方向与垂直方向 1. 1 　纳米运动平台的原理 p 产生运动耦合 ,致使扫描器运动时产生两种结构误 AFM 扫描方式有两种 :探针扫描方式和样本扫 [78 ] s 差 :交叉耦合误差和扫描范围误差 。前者指当扫 描方式。我们所研制的 AFM 采用样本扫描形式 , 即 . 描器进行水平方向扫描运动时在 Z 方向产生的额 探针不动 ,纳米平台带动样本进行往复扫描运动 ,如 外运动造成的 Z 向位移误差;后者存在于采取样本 图 1 所示。结构设计使激光可以照射到 AFM 扫描 w ( 扫描方式的 AFM ,是指当样本厚度发生大的变化时 探针的悬臂梁 ,并反射到光电位置敏感检测器 po