大气状态下afm阳极氧化加工重复性的研究 study on the reproducibility of afm anodic oxidation in air.pdfVIP

大气状态下afm阳极氧化加工重复性的研究 study on the reproducibility of afm anodic oxidation in air.pdf

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大气状态下afm阳极氧化加工重复性的研究 study on the reproducibility of afm anodic oxidation in air

!#$%’%() ! !)*+$),)-. ! !’$%/*0$’*.%- 1 23+(,)-. /0123 !# 4567 ()89:;= ! ! ! ! ! ! ! ! 祁 森 刘庆纲 李锁印 张超艳 胡小唐 ! # !#天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 $%%% ! $ # 中国电子科技集团公司 第十三研究所 石家庄 %’%%% ! ! ! ! 摘要 为实现多隧道结和多岛结构 针对室温大气环境下 利用()* 阳极氧化加工方法 对加 % ! 工+,-./(0 衬底上的12 级厚度的钛膜的重复性进行了研究 本实验在一定的加工条件下 分 别加工了点阵列和线阵列! ! 通过最大残差法计算了它们宽度和高度的重复性百分比 得到所有的 重复性百分比都小于 表明文中所提供的加工条件下 加工钛膜具有很好的重复性 同时 !3 ! ! % ! 通过点阵列与线阵列的理论变换方法 进一步验证了在加工氧化钛线时采用 扫描速度 ! %4! !2 5 0 的正确性% 关键字 加工重复性 原子力显微镜阳极氧化加工 最大残差法 ! # # 中图分类号! ,=%?7# 文献标识码! . 文章编号! %#@%4A@@# !!@ 4!#A4A !#$% ’ () *)+,-#./0/1/% 2 345 3’-/. 67/-8/’ /’ 9/, % % ! % % =5 +B/ $ C5D =2/E4E8/E $ C5 +;4F2/ $ )G.HI *J84F8/ $ GD K28498/E !%!#$#% %’ ($) *+ ,-%./0/*1 2%$03-/14 5%.61*7*4’ 8 910#-3:%1# $ 5/$1;/1 1/=%-0/#’ $ 5/$1;/1 ?@! $ 6/1$ ’ 9J

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