高精度2×2阵列拼接光栅结构设计 structure design of high accuracy 2 × 2 array grating.pdfVIP

第23卷第7期 强 激 光 与 粒 子 柬 V01．23，No．7 AND BEAMS 2011年7月 HIGHPOWERLASERPARTICLE Jul．，2011 文章编号： 1001—4322(2011)07—174l-05 高精度2×2阵列拼接光栅结构设计。 周 忆1， 申 超2， 张军伟2”， 王逍3， 周 海3 (1．重庆大学机械传动国家重点实验室，重庆400030f2．重庆大学机械工程学院，重庆400030l 3．中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳610019) 摘要： 提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构，采用模块化和框架式结构设计，保证拼接绪 构的稳定性；设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构，实现拼接光栅微纳量级的调 整要求；讨论了关键组件的设计和制造问题。设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17 扯m。微纳调整组件的最小调整精度可以达到l。8nm，分辨力为9．9nm，初步光路实验表明，设计的拼接调整机 h。 构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度，且稳定时间大于1 关键词：阵列拼接光栅}微纳调整；结构设计；快点火 中图分类号： TBl33 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP1741 大口径光栅是获得更高能量、更高强度的超短激光脉冲的关键元件。由于大口径光栅制作难度很大(大面 积曝光、刻蚀及均匀镀膜等困难)，很难制造加工到大尺寸(1m左右)，用拼接光栅的方法获得大口径阵列光栅 是解决问题的有效途径[1。3]。国内外学者在阵列光栅拼接理论及其拼接光栅的偏差对光束时间和空间特性的 Tiejun等人通过限制压缩脉冲脉宽的展宽程度对光栅拼接过程中的各种误差 影响方面都进行了研究。Zhang cm、脉宽为o．1～10．0 比率为90％的条件下，对于口径为40 ps脉冲的拼接系统各种误差的容限值。文献[6] 根据夫琅禾费衍射方法分析了拼接光栅的偏差对光束空间特性的影响，模拟计算表明，光栅问拼缝和前后位移 偏差是影响光束远场分布的关键因素。文献[7]则应用脉冲压缩理论分析了偏差和聚焦脉冲时间宽度展宽之 间的解析关系，数值计算结果表明，面平行左右偏差和条纹密度差异对脉冲的时间宽度影响较大。这些研究对 精密阵列光栅的拼接结构设计奠定了理论基础。本文讨论了一种2×2阵列光栅的拼接结构设计方法和实现， 根据拼接精度要求分析讨论了总体设计的关键问题和结构，并对关键组件的设计和制造进行了分析。2×2阵 mmxl50 列光栅实验样机的单元光栅尺寸为210 mm，由于采用模块化和可扩展设计，该实验样机为拼接光栅 的设计制造提供了基础。 1 2×2阵列光栅拼接结构设计 1．1阵列光栅拼接自由度和误差构成 在阵列光栅拼接系统中，两两子光栅有6维自由度影响拼接光栅的光束质量，即z，y，z3维角度的旋转，z 向(沿光栅面法线方向)，z向(色散方向)的平移及光栅刻线宽度d。图1为阵列拼接光栅的自由度及误差构 差补偿思想，以和d，，d口，和△d，d以和d以构成了3组配对误差，每组中的两个误差因素对光柬的影响是相似 的，即在调整过程中可以通过调整配对误差中的某一种误差来抵消另一种误差的影响。 1．2 2×2阵列拼接光栅总体结构 阵列光栅对拼接精度(误差)和稳定性的要求极高[5]，因此拼接光栅结构设计必须考虑的关键问题包括： 的自动校正功能。 综合考虑2×2阵列光栅的拼接精度要求和上述关键问题，设计了框架式、模块化的2×2阵列拼接光栅， -收稿日期：2010一10一02}修订日期：2011一02—28 (