各向异性腐蚀制备纳米硅尖 fabrication of nano-silicon-tips based on anisotropic wet etching technique.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.72万字
约 5页
2017-08-31 发布于上海
举报
版权申诉

各向异性腐蚀制备纳米硅尖 fabrication of nano-silicon-tips based on anisotropic wet etching technique.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

各向异性腐蚀制备纳米硅尖 fabrication of nano-silicon-tips based on anisotropic wet etching technique

显徽、测量、徽细加工技木与设备各向异性腐蚀制备纳米硅尖石二磊8，崔岩“6，夏劲松8，王立鼎8 (大连理工大学a．微纳米技术及系统辽宁省重点实验室； b．精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连116023) 摘要：采用KOH溶液各向异性腐蚀单晶硅的方法制备高纵横比的纳米硅尖，研究了腐蚀溶液的浓度、添加荆异丙醇(IPA)对硅尖形状的影响。设计了硅尖制作的工艺流程，制备了形状不同、纵横比值为0．52-2．1的硅尖，并结合晶面相交模型，提出了硅尖晶面的判别方法，讨论了实验中出现的{411}和{331}晶面族两种硅尖晶面类型，实验结果和理论分析相一致。通过分析腐蚀溶液的质量分数和添加荆对{411)、{331)晶面族腐蚀速度的影响，得到了制备高纵横比纳米硅尖的工艺参数。实验结果表明：当正方形掩模边缘沿110晶向时，在78℃、质量分数 40％的KOH溶液中腐蚀硅尖，再经980℃干氧氧化3h进行锐化削尖，可制备出纵横比大于 2、曲率半径达纳米量级的硅尖阵列。关键词：硅尖；各向异性；氧化削尖；晶面；掩模 on Fabricationof Based Nano-Silicon-Tips Wet AnisotropicEtchingTechnique ShiErlei8，CuiYan‘…，Xia Jinson95，WangLidin98 Micro／Nano and (4．KeyLaboratory，．or TechnologySystemofLiaoningProvince； PrecisionandNon’Traditional b．KeyLaboratoryfor MachiningTechnologyofMinistryEducation， of Dalian 116023，China) UniversityofTechnology，Dalian Abstract：Theratio werefabricatedKOHsolutionwiththeaniso- highaspectnano—silicon-tips by wet theeffectsofthesolutionconcentrationandtheadditiveIPA tropicetchingtechnique，and onthe ofsiliconwerestudied．Thefabricationforsiliconwere shapes tips processes tips designed anddifferentratio of0．52—2．1wereformed．Basedontheintersectionmodelof aspect tips for was identificationmethod crystalplanes，the crystalplanesproposed．Twocrystalplanes