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激光诱导荧光在低温等离子体诊断中的应用-激光与红外.pdf

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    第卷第期激光与红外年月文章编号激光应用技术激光诱导荧光在低温等离子体诊断中的应用赵岩柏洋金成刚吴雪梅诸葛兰剑苏州大学物理系江苏苏州苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室江苏苏州苏州大学分析测试中心江苏苏州摘要激光诱导荧光技术应用到等离子体中已经有超过年的历史在等离子体处理中的应用也已经持续了十多年激光诱导荧光系统可以用于刻蚀溅射以及薄膜沉积等离子体源的诊断研究离子密度和速度分布及对流传播参数等都可以用直接测量或间接计算得到可以得到时间分辨和空间分辨的离子分布方程可用于等离子体热力学和等离子体迁移的研究

    第４２卷　 第４期 　　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．４ 　 ２０１２年４月　　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｐｒｉｌ，２０１２ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１２）０４０３６５０７ ·激光应用技术 · 激光诱导荧光在低温等离子体诊断中的应用

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