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* * * * * * * * * * * * * * CNI-2009 SESL 生产技术 */24 Samsung confidential CNI-2009 SESL 生产技术部 */4 對外密 2009年部门目标 直MOD: 1% 收MOD:0.1% 变更点事故：ZERO SESL生产技术部 ： 王海平 2009.05 静电的产生及防护 静电的产生 1 静电的防护 3 静电的危害 2 Content SESL 静电防护状况 4 静电：静电就是物体上多余的静止的电荷。 静电放电（ESD—Electrostatic Discharge）：带有不同静电电势的物体或表面之间的静电电荷转移。 静电的产生 静电的产生 摩擦剥离起电 感应起电 压电、热电效应 Others 静电的产生 1.1 摩 擦 、剥 离 起 电 + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - 物质接触 Material A Material B 接触分离 影响摩擦剥离带电的主要因素 物质结合的紧密度 分开的速度 材料的导电性 摩擦系数以及位置 P-型硅 人 手 石英 云母头发尼龙羊毛毛皮铅丝绸 铝纸棉花钢铁聚亚安酯 聚乙烯 聚丙烯 聚次亚乙烯 硅 聚脂薄膜 聚四氟乙烯 + Positive - Negative 1.2 感 应 起 电 在静电场影响下,物体上电荷重新分布的现象，这种现象是静电感应。 感应起电主要针对导体。 静电的产生 2.1 静电的物理学效应及影响 静电的危害 a） 力学效应： b）放电效应：静电放电 c）电磁感应 无线电干扰, 设备工作失效、人体不适。 --影 响： 吸附尘埃 作业性 --影 响： 产品损坏 起火甚至爆炸危险 人身伤害 2.2 静电的危害 静电的危害 器件损坏或击穿（即时失效） 内部电路立即并且永久性损坏 产品失效或低可靠性： 性能退化或潜在性失效（90%） 元件内部电路的损坏未被发现,但在随后的市场应用中可能失效. 内容 含义 电气过载(EOS): (Electronically over Stress)指过电压，当外界电流或电压超过器件的最大标准条件时，器件性能会减弱甚至损坏. 额外电能的来源通常为生产设备中电力系统的波动电压或作业过程中产生的ESD. 静电敏感(ESDS)元件 对于易受静电放电损坏的微电子器件（组件） 防静电工作区(EPA) Electrostatic Discharge Protected Area）配备防静电装置，能限制静电电位，适于从事静电防护操作的工作区域. 表面电阻率 surface resistively 　 平行于通过材料表面上电流方向的电位梯度与表面单位宽度上的电流之比，用欧姆表示。 注：如果电流是稳定的，表面电阻率在数值上即等于正方形材料两边的两个电极间的表面电阻，且与该正方形大小无关。单位：?/□ 静电相关术语 问：ESD / EOS 会导致哪些常见故障？答：漏电和短路是最常见的故障形式。ESD /EOS 也可能导致基本功能失效。EOS 也可能导致开路故障。 静电防护的主要措施 静电耗散及泄漏 1 离子中和 2 静电屏蔽 3 工作台做接地处理 人员佩戴静电手环 人员佩戴防静电脚环 3.1 静 电 耗 散 及 泄 漏 1. 所有EPA内的导体作接地处理 2. 使用静电防护材料 静电改善对策 ESD 防护原理 3.1 静 电 耗 散 及 泄 漏 硬接地： 软接地： 直接与大地做导电性连接的一种接地方式。 防静电材料（装备）静电泄漏上限值的确定 式中，U0－初始电压（V）； U－衰减电压（V）； T－衰减时间（s）； R－静电泄漏电阻（?）； C－物体对大地分布电容（pF）。 通过接限制流过人体的电流（5mA)达到安全值的电阻连接到大地电极一种接地方式。 一般以静电泄漏电阻值1?109? 作为上限界定值。 3.1 静 电 耗 散 及 泄 漏 1. 所有EPA内的导体作接地处理 2. 使用静电防护材料 静电改善对策 绝缘体 耗散材料 没有电荷的流动 电荷聚集类似孤岛 电荷聚集在表面 电荷聚集在小范围区域内 ESD problem occurs 电荷可以泄露到大地 电荷分布在整个物体内 电荷可以自由移动 不存在电荷的聚集现象 No ESD problem occurs 3.2 离 子 中 和 AC, DC, Blow type X-ray ionizer 绝缘体上的电荷难以做接地处理 离子风机原理： 在尖端高压作用下，中性气体被离子化： - 尖端电极使气体电离(s