纳米科学和技术的新进展-哈工大.docVIP

纳米科学和技术的新进展 作者：哈尔滨工业大学 袁哲俊 1.引言 自1981年扫描隧道显微镜（STM）发明以来，纳米科学与技术获得了极大的进展。纳米科学与技术是指研究纳米级（0.1～100nm）尺度材料的物理、化学行为的科学及其设计、制造、测量、控制和产品的技术。原子层间的距离为0.1～0.3nm，故纳米科技已是深入到原子级微观世界的新科技，这是一个新的科技发展领域，有可能使多个科技领域如化学、材料、航空航天、计算机、电子、机械、生物等学科产生重大突破，因此世界各国都给予极大的重视。例如美国在伊拉克战后将纳米技术列入国家重点发展的12项关键技术之一，最近又把它列为重中之重的“信息技术、生命科学和纳米科技三项优先发展的最重点科技之一。以下介绍纳米科学与技术几个主要方面的最新进展情况。 2.纳米级测量技术 2.1 纳米级精度的尺寸和位移的测量 可以用多种物理量作精密尺寸的测量，其中光干涉法是用得最多的方法。光干涉法的测量分辨率及精度和光的波长有关，激光的波长较可见光小得多，故测量分辨率较高，精密激光测量系统长度测量分辨率达0.6nm、测量精度达2nm。使用波长更短的X光有可能进一步提高测量分辨率和测量精度。 美国国家标准和工艺研究所(NIST)研制的M3型分子坐标测量机(molecular measuring machine)是到目前为止全世界精度最高的微型三坐标测量系统，被测件被放在50mm×50mm×100μm的检测室内进行测量。该系统使用了多项测量新技术，在进行坐标测量时，可以达到纳米级测量精度。该坐标测量机是为下一代纳米器件装置、特别是纳米电子器件(如超大规模集成电路等)工业生产而研制的。 2.2 纳米级表面形貌的测量 表面微观形貌测量可以用多种不同的方法，其中激光表面形貌测量可以得到表面微观形貌的三维彩色立体图形。但真正使微观表面形貌测量技术产生飞跃、达到原子级的测量分辨率是扫描隧道显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM）等扫描探针显微镜。 2.3 纳米级表层的物理力学性能的检测 新发展的表层显微力学探针检测法可以测出极薄表层的硬度、弹性模量、蠕变等项力学性能。这种方法对表面改性材料、表面涂层和复合材料的物理力学性能检测及其界面的性能检测极为方便有效。 3．扫描探针显微镜 3.1 扫描隧道显微镜(STM) STM是1981年由比尼基（Binnig）和罗勒（Roherer）发明的，由于它的意义重大，曾荣获1986年诺贝尔奖。它的原理是用极尖的探针对被测表面进行扫描，探针和被测表面非常接近，在一定的电场作用下产生隧道电流。探针和表面间距离的极微小变化将使隧道电流产生很大变化。扫描时探针升降以保持隧道电流不变，因而可测出表面形貌高低。借助纳米级的三维位移控制系统和计算机图形处理技术，可得出该表面的彩色三维微观立体形貌图像。 1982年Binnig发表的Si(111)-7×7表面的原子分布图像是人类首次看到的原子分布图。 3.2 原子力显微镜(AFM) AFM的工作原理与STM类似，都是用探针对被测表面进行扫描从而进行测量的，但AFM是靠控制探针针尖与被测表面间的原子相互作用力而检测微观表面形貌的，因此它可以用于检测非导体的表面形貌。原子力显微镜采用轻敲式扫描模式可检测软质材料，并可在液体中测量形貌。STM和AFM的测量分辨率极高（垂直方向达0.01nm，横向0.1nm），可以显示出被测表面的分子和原子分布的彩色微观形貌，使我们对物质微观世界的认识和研究上升到一个新的高度。 AFM的测量分辨率极高(和STM基本相同)。AFM是利用原子相互作用力而检测的，因此可用于检测非导电材料，并不受试件表面电子态影响，测量结果更接近表面实际形貌。此外AFM还可在液体中测量软质材料，这对测量生物细胞特别有用。AFM具有测力系统，很容易改装后用于测量材料表层的微观力学性能，或改装成摩擦力显微镜，因此有较大的应用领域。 STM是利用量子力学的隧道电流来检测的，因此只能用於检测导电材料。隧道电流的大小不仅与隧道间隙有关，而且与试件表面的电子态局域密度有关，因此试件表面的电子云状态也直接影响测量结果。从STM测得的图像中，不仅可看到Fe原子，而且可看到波浪状的电子云。 3.3 扫描力显微镜(SFM) 在AFM之后，又发明了多种利用扫描力测量的显微镜，如摩擦力显微镜（FFM）、磁力显微镜（MFM）、静电力显微镜（EFM）、化学力显微镜（CFM）等，它们各有其重要应用领域，使SPM的品种和应用领域大大扩大。 3.4 多功能扫描探针显微镜 分析不同的SPM的结构原理后可以看到，这些显微镜的很大部分结构部件是相同的，因此就出现了多功能SPM。一台多功能SPM只要更换测量头部件，即可用作STM、AFM、F