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烧结过程示意图 粉状成型体的烧结过程示意图 烧结的SEM照片参考 a)烧结前 b)烧结后 烧结的SEM照片 烧结温度的设定 温区 Dry1 Dry2 Dry3 Dry4 FRN1 FRN2 FRN3 FRN4 FRN5 FRN6 带速 温度 200 250 270 300 400 445 570 675 837 872 230 mm/min 温度可根据实际情况作出±10℃的调整，一般很少做大幅度的变动 当工艺初始化、更换浆料型号、特殊规格的硅材料，可考虑采用差异较大的烧结温度进行烧结 烧结步骤描述 区域 功能 组成 加热元件 温度范围 烘干区 对3#丝网印刷后硅片表面浆料进行烘干 Dry1 Dry2 Dry3 Dry4 加热元件为电热丝 各温区单独可调 通常温度不超过300℃ 烧结区 去除浆料中的有质粘结剂 铝背场及珊线烧结 预烧结区 FRN1 FRN2 FRN3 FRN4 主烧结区 FRN5 FRN6 加热元件为近红外线加热管 1~4区加热管功率为1600W 5~6区加热管功率为2700W， 各温区温度单独可调 1~4温区可设置到700℃ 5~6温区可设置到1050℃ 冷