线阵CCD光敏面不平度测量装置设计与电路实现-光学精密工程.PDF

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2017-09-02 发布于天津
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线阵CCD光敏面不平度测量装置设计与电路实现-光学精密工程

6 3 Vol.6, No. 3 1998 6 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERIN G June, 1998 CCD 贺庚贤 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所　　长春 130022) CCD , CCD 1 CCD , , , , , , CCD : , CCD CCD , 1 CCD , X OY , X , Z , CCD, , , , , ig. 1Coordinate of t he CCD , , 1 , : 1998- 02- 20 : 1998- 03- 06 118 6 CCD CCD , , , CCD , , CCD CCD CCD : , ( Z ) , 2 , 2, , CCD CCD CCD , CCD X Y , CCD , X Y , X Y Z , , CCD CCD , , Z Z Z , Z Z , Abbe : Z , : 1) 40X/ 0. 63 , , 1 = 1m 2) X : 1(200mm ) , 1m, Z , 2 = 1m 3) : 0. 5m Z, 5 , 1m, ig. 2Structure of the test equipment 3 = 1m 4 4) , 0. 5m, = 0. 5m : Z 2 2 2 2 2 2 2 2 Z = 1 + 2 + 2 + 4 = 1 + 1 + 1 + 0. 5 m = 1. 8m 2m 3 : CCD 119 : 1mm : CCD , X , CCD , , , , Z , , Z CCD 3 , , GDS-6 ( ) , , : 10m100m 1000m, , 0. 01m, , 0.05m, 2m, 1mm , 16 8421 , 0- 5V, 5V CMOS , TT L , , , , , , : 1: 19. 2 k 2, 3, 4 5: 12 : # H,# H; 3 : # 02H; 4 : 5 # 01H; 5 : # 02 ;