试验二测漏.PDF

實驗二 測漏 一、實驗目的 了解真空系統中的漏氣現象與放電管原理，並學習如何利用放電管及測漏。 二、實驗儀器 冷陰極離子真空計、安培計、真空鍍膜系統。 三 、實驗原理 當真空抽到某一程度時，其真空度即無法再增高，但按照幫浦的性能，應可 抽到更高的真空度，而其抽不上去的原因有三個 ：實漏、虛漏和逸氣 。 實漏指的是真空系統外的氣體，經由系統殼體、管壁焊接缺陷或有刮傷刀口 之法蘭(flange)及接頭等處，進入真空系統的內部；虛漏乃系統中侷限氣體分子 之逸出，常發生於真空封合焊缝、螺紋間隙及夾層之氣體逸出；至於逸氣方式有 兩種，其一為放出真空系統器壁所吸附的氣體分子，最常見於螺絲、O 型環真空 封合及電子槍披附加熱，另一為設備儀器內存有高蒸氣壓物質，當真空度達其蒸 氣壓時，此物質蒸發成氣體。 在真空系統中，漏氣是常遇到的 ，而系統的漏氣通常分為低真空漏氣和高真 空漏氣。當系統漏氣為低真空漏氣時，通常採用放電管法或熱偶真空計法，而高 真空漏氣則常採用電離真空計法或質譜檢漏法。本實驗所使用方法為放電管之測 漏法，在此將針對放電管工作原理與測漏法做一介紹。 1. 放電管： (A) 作為一簡單的真空指示器而非真空計 ，由於放電管中的放電情形隨 壓力而變化，故可根據經驗約略判真空系統中的壓力。其構造如圖 2-1 所示 ，一玻璃管一端接陽極，另一端接陰極，兩極加以高電壓， 當真空度到達一定範圍時，管中即開始放電，而在真空度未達此範 圍或超過此範圍時則不放電。電所呈的顏色隨漏入液體的蒸氣性質 而不同，故從放電管顏色的變化可確定是否有蒸氣進入真空系統 ， 6 適用於低真空測漏。表2-1 列舉幾種不同氣體或蒸氣在真空放電時 顯示出的顏色。 圖2-1.放電管 表2-1 氣體或蒸氣 放電時所呈現的顏色 空氣 紅到紫色 氨氣 藍色 氩氣 紫紅到黃粉紅色 氖氣 紅色 氬氣 藍色 氯氣 紅紫色 氧氣 檸檬黃帶紅色 氫氣 藍色 二氧化碳 藍色 水銀蒸氣 青藍色 水蒸氣 白藍色(幾乎白色) 碳氫化合物蒸氣 白藍色(幾乎白色) (B) 7 2. 冷陰極真空計： (A)冷陰極真空計典型之構造如圖2-2 所示，包含一高壓電源 、永久磁 -2 -7 鐵與放電電極等。量測範圍值約在 10 ~10 torr ，屬於高真空計的一 種。在低壓力時，由冷極真空計所量測之放電電流大小作為壓力的 指示。 (B) 工作原理如圖2-3 所示：利用高電壓真空放電產生電子，再以磁場 輔助 ，使電子於兩極間作螺旋狀運動，以增長電子運動路徑，增加 電子與氣體分子碰撞機會，以產生更多離子增大電流訊號。 圖2-2.冷極真空計之組成 圖2-3.冷極真空計中電子之運動