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                 NPFLEX 光学表面轮廓仪介绍 NPFLEX 是 Bruker 公司于2010 年推出的一款可针对各种复杂形状样品进行表面测量的仪 器。下面分别介绍此仪器的工作原理、仪器特点和它的主要技术指标：  一、 工作原理：    光学轮廓仪是一种非接触式光学轮廓仪，它使用两种技术来测量表面高度。一种是相位漂移 干涉计（PSI）模式，它可以测量光滑表面；另一种是垂直扫描干涉计（VSI ）模式，它可以 测量粗糙表面和台阶。