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中械工程第二十四全研文集中原大桃中中民九十六年十一月二十三日二十四日文新型晶取技用於台之研究王正献忠游宏中山科研究院第二研究所大型的管中沉磊晶程依的摘要方式可分冷壁式和壁式著半元件的得越越小程越冷壁式以圈加如一工作越半程的自化得更重要度可批次式生每次期改善目前台以人工投片可能生之程理片片其批次理能大冷污染提升台能本文探台晶取壁式程可做期程所以可以兼低阻抗需求及各晶取原理理分析及後提薄膜高阻抗厚膜之程需求但由於高出一新型正面吸附晶取技可成功程且晶承底部需有加圈行晶性能於有晶取方法不易以一般械手臂托
中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中原大學 桃園、中壢
中華民國九十六年十一月二十三日、二十四日 論文編號： E05-0020
新型晶圓擷取技術應用於 CVD機台之研究
王偉正、陳献忠、游欽宏
中山科學研究院第二研究所
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