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相位差异的三反光学系统波前传感技术-红外与激光工程.pdf

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第卷第期红外与激光工程年月相位差异的三反光学系统波前传感技术程强薛栋林张学军中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室吉林长春中国科学院大学北京摘要分析了基于相位差异的前传感技术的基本原理针对该技术的目标函数自变量多非线性程度较高等特点提出基于遗传算法的改进相位差异技术在传统目标函数的基础上增加了正则项提高了算法的稳定性和收敛效率对光学系统利用技术前检测的噪声适应性进行了仿真分析模拟了不同前离焦量对检测精度的影响获得最优的前离焦相位值并应用于检测实验利用技术分

第42 卷第6 期 红外与激光工程 2013 年6 月 Vol.42 No.6 Infrared and Laser Engineering Jun.2013 相位差异的三反光学系统波前传感技术

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