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Semiconductor Manufacturing Technology(半导体制造技术)
Semiconductor
Manufacturing Technology
Michael Quirk Julian Serda
© October 2001 by Prentice Hall
Chapter 9
IC Fabrication Process
Overview
Semiconductor Manufacturing Technology 1/41
by Michael Quirk and Julian Serda
Objectives
After studying the material in this chapter, you will be able to:
1. Draw a diagram showing how a typical wafer flows in a
sub-micron CMOS IC fab.
2. Give an overview of the six major process areas and the
sort/test area in the wafer fab.
3. For each of the 14 CMOS manufacturing steps, describe its
primary purpose.
4. Discuss the key process and equipment used in each CMOS
manufacturing step.
Semiconductor Manufacturing Technology 2/41
by Michael Quirk and Julian Serda
Major Fabrication Steps in MOS Process Flow
UV light
Mask
oxygen
exposed
Silicon dioxide photoresist photoresist oxide
Silicon substrate
Oxidation Photoresist Mask-Wafer Exposed Photoresist
(Field oxide) Coating Alignment and Exposure Photoresist Develop
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