用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析!.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析!.pdf

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用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析!

第卷第期年月物理学报，，， # % ! % RS*#QR*%TA2-A0 ! U ／／（）／ %9$!!#% %’#9’ 6OP6MHN+@O6+@Q@O6 !OV12*MVE*+RB* U 用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析! 刘波姜蕾周筑颖贺勉鸿赵国庆（复旦大学现代物理研究所基于加速器的原子物理和原子核物理实验室，上海） !#$$ 宗祥福（复旦大学材料科学系，国家微电子材料和元器件微分析中心，上海） !#$$ （年月日收到；年月日收到修改稿） % ! % % $ ’ 介绍了将离子枪组合于卢瑟福背散射分析靶室中构成／原位分析实验装置，用低能离子溅射剥 +-../012 45+ , 3 层与高能离子背散射组合对薄膜样品进行成分和深埋层分析方法给出了对样品分析的三个例子对／样品 * * 6-+1 的分析着重讨论了在 7溅射剥层时的溅射速率；对／／和／／样品的深埋层分析，提高了 6- 60 +18/9+1+1 :+1 +1; +1 ! ! 样品分析的深度分辨率讨论了这一／组合分析方法的优缺点和在薄膜材料研究中可能的应用 * +-../012 45+ * , 3 ：；； !## (! $#) ’% ）方法实现了在原位进行厚样品注入层的高分 45+ ［］ # 引言辨深度分布研究等人用／在原位 *501E +@=+45+ %