犌犪荦犎犈犕犜器件22元件小信号模型.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２８ ９ 犞狅犾．２８ 犖狅．９ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００７ ９ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犛犲．２００７ 狆 器件 元件小信号模型 犌犪犖犎犈犕犜 ２２  刘 丹 陈晓娟 刘新宇 吴德馨 　 　 　 　 （中国科学院微电子研究所，北京 １０００２９） 　 摘要：采用了新型的包含 元件的 小信号模型，通过增加与栅源电容 和栅漏电容 并联的电 ２２ 犌犪犖犎犈犕犜 犆犵狊 犆犵犱 导 和 来表征 栅漏电情况 结果表明 元件小信号模型拟合度提高，物理意义更为明确 同时 犌犵狊犳 犌犵犱犳 犌犪犖犎犈犕犜 ． ２２ ． 重点改进了寄生电容参数的提取方法，可有效地提取新型栅场板、源场板器件小信号参数 由算法提取的参数值可 ． 准确反映犌犪犖犎犈犕犜器件的物理特性． 关键词：犌犪犖犎犈犕犜；小信号；优化；模拟 ： ： 犘犃犆犆 ７３４０犔 犈犈犃犆犆 ２５７０犃 　　　 中图分类号： ＋ 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖８１４ ７ 犃 ０２５３４１７７２００７０９１４３８０５ 　　　 　　　 （）的形式，因此可得出器件的 参数为： 犪 犢 １ 引言 　 （ ） （） 犢 ω犆 犆 犌 犌 １ ＝ ＋ ＋ ＋ １１ 犼 犵狊狅 犵犱狅 犵狊 犵犱 （ ） （）