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2017-09-03 发布于天津
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cu2znsns4薄膜的制备及其表征-中南大学学报

第 45 卷第 11 期中南大学学报(自然科学版) Vol.45 No.11 2014 年 11 月 Journal of Central South University (Science and Technology) Nov. 2014 Cu ZnSnS 薄膜的制备及其表征 2 4 1 1 1 1 1 1, 2 1 1 1 张坤，赵联波，陈志伟，秦勤，蒋良兴，刘芳洋，赖延清，李劼，刘业翔 (1. 中南大学冶金与环境学院，湖南长沙，410083； 2. 新南威尔士大学光伏与可再生能源工程学院，悉尼，2052) 摘要：采用 CuZnSn三元合金靶，以直流反应磁控溅射原位生长的技术制备 Cu ZnSnS (CZTS)薄膜材料。采用 X 2 4 线能量色散谱仪、扫描电镜、X 线衍射仪、拉曼光谱、紫外可见分光光度计和霍尔效应测试系统对薄膜进行表征。研究结果表明：原位生长的 CZTS薄膜的成分呈富铜贫锌，具有均质、致密和平整的形貌，且由贯穿整个薄膜厚度的柱状颗粒组成；薄膜在(112)面呈现出明显的择优取向，均为 P 型材料且具有器件级载流子浓度；随着溅射功率的升高，薄膜的形貌、结晶性能、电学性质均得到一定程度改善。关键词：Cu ZnSnS ；反应磁控溅射；合金靶；光吸收层；太阳电池 2 4 中图分类号：O472 文献标志码：A 文章编号：1672−7207(2014)11−3740−06 Preparationand characterization of Cu ZnSnS thin films by 2 4 magnetronsputtering 1 1 1 1 1 1,2 ZHANG Kun ,ZHAO Lianbo , CHEN Zhiwei , QINQin ,JIANG Liangxing ,LIU Fangyang , 1 1 1 LAI Yanqing , LI Jie ,LIU Yexiang (1. School of Metallurgy