空气弹簧在光学平台隔振系统中的应用的分析研究.pdfVIP

摘要 摘要 在精密仪器仪表、精密测量、精密加工等技术的发展过程中，精密机械系统 的工作平台的振动控制技术始终是需要解决的根本问题。 本文以研究精密光学平台的振动控制为主要目的，积极吸收相关学科的新思 想、新理论、新技术，采用理论研究与计算机仿真相结合的研究方法，系统地进 行了平台的动力学分析和振动控制的技术基础研究。 本文从满足光学平台的隔振要求出发，讨论了光学平台的主、被动控制问题。 首先，本文详细分析了作为振动隔离关键部件的空气弹簧的性能，着重讨论了空 气弹簧刚度与工作压力、附加气室体积的函数关系，分析了阻尼对隔振传递率的 影响；其次，给出了一般振动意义下的光学平台的动力学方程，求解了结构的固 有特性、研究了支腿的分布问题；最后，对系统进行了主、被动控制的设计，并 分别进行了计算机仿真分析，说明隔振系统的效果。 关键词：空气弹簧振动被动控制主动控制光学平台 AbsIract Abstract Inthe of iIlstnlments卸d develOpillgprocessprecision measuringappli锄ces， so vibration prcdsionmeasurements，pTecisepmcessjng孤don，thc controltechnology for of isavital wofl【ingplatfomsprccision machinerysystems pmblemtllroughout whichnee(Ist0besolved． Themain ofthisanideisaboutttlevfbrationcontfolfbf goal precise叩tic new oftheco玎．elation ide船，newtheofies，and platfonn．SomeⅡew technolo画es are absorbed thetheorcticalrcsearchwiththe disciplines positively．combiⅡiⅡg thefundamental researchesa” computersimul砒ions， technique perfo珊ed forthe vibrati∞con仃0lsofthc systematically d”蛐ic姐alysis如d plalfbnn． To forVibmtioni∞la虹。船ofnlc adive枷d salis母therequcst opticplatf0加，the control 0fthe djscu豁joⅡs p鹤sive techniquesopticsplaⅡb珊arc rcspectiveIy．刊塔t， ttlisanicle thc oftheajr asthc of aIIalyzesped’0衄ance spring keyc