低能铜、金小团簇在金属表面沉积的分子动力学模拟的分析研究.pdfVIP

摘要 ● eV／atom) 本论丈用分子动力学方法研究了低温(OK和50K)下低能(0—30 铜、金小团簇(正八面体结构的6原子团簇和二十面体结构的13原子团簇)在cu(0011 eV／atom。 和Au(001)表面沉积的动力学过程及结构特征。团簇的入射能量选为0—30 用由Finnis．Sinclain紧束缚多体j鲥苗述。 体系中原子位置的快照描述表面沉积过程和团簇原子结构重组的动力学过程，并用 对关联函数定量描述了沉积在表面团簇原子的结构特征。发现存在一个能量窗口(对 1 Cu(001)表面为1—1eV／atom，对Au(001)表面为1—15 eV／atom)，在该能量范围Cu6 团簇再构为与衬瘃接近的fcc结构，而且表面无损伤，为实验吐长高质量薄膜提供 理论依据。 在此基础上研究了低温(50K)下低能(0．05—6．0eV／atom)铜、金小团簇在 究了轰击能量与生长模式的关系。当入射能量小于2．0 eV／atom时薄膜呈岛状生长趋 势，大于4．0 eV／atom时薄膜呈层状生长趋势。， 为了探索异质外延中纳米结构的形成机制，我们还研究了低温(50K)下低能 (0．05—6．0 表面沉积后形成的纳米晶粒和纳米晶界，并通过表面沉积原子结构演化的动力学过 程探索其形成原因．通过本论文的研究，发现入射能量、晶格失配是影响薄膜的生 长模式和结构的两个重要因素． 1——√ 立哪司： 低能团簇、表面、—，盘鲞潴构、分子动力学模拟 分类号：0484．1(b485，04ll，3 Abstract andAu withoctabedronstructureand13-atomwith The ofsmallCu clusters(6-mom deposition was simulation． iccsahedron studiedmolecular structure)on Au(001)surfacesby dynamics Cu(001)and andstructure of clustersThe the behavior characteristic AttentionWaS OH dynamics deposited impact put was atconstant TheFinnis- to thesubslratemodeled fiom0 30