增强型AlGaNaN高电子迁移率晶体管高温退火研究.PDFVIP

065 59 10 20 10 10 第 卷第 期 年 月 物 理 学 报 Vol . 59 ，No . 10 ，October 20 10 1000 -3290 / 20 10 / 59 (10 )/7333-05 ACTA PHYSICA SINICA 20 10 Chin . Phys. Soc . * 增强型AlGaN/ GaN 高电子迁移率晶体管高温退火研究  王 冲 全 思 马晓华 郝 跃 张进城 毛 维 ( ， ， 7