单片集成电路逆向分析解剖方法.pdfVIP

第9卷第3期 哈尔滨理工大学学报 v01．9No．3 2004年6月 JoURNALHARBIN UNIV．SCI．TECH．Jun．．2004 单片集成电路逆向分析解剖方法 曹一江 (哈尔滨理工大学应用科学学院，黑龙江哈尔滨150080) 摘要：针对PN结隔离集成电路芯片的逆向分析，提出了一种剖析方法，并给出剖析过程中的 一些工艺条件，利用该方法对简单集成电路进行了逆向分析，提取电路原理图，绘制版图．经电路仿 真验证，所提取的电路与被剖析的实际电路输出特性基本一致，从而为其他集成电路的剖析提供一 种参考方法． 关键词：单片集成电路；电路提取：版图 中图分类号：TN407 文献标识码：A Methodof SIiceIn Circuit AnaIysis SingIe tegrated C4D】，f—j『f口ng Science 1 (AppIiedCollegc，HarbinUniv．Sci．Tech．，Harbin50080，China) Abstract：Airnedat ofP—Nti既jnsulated cifcuit regr鹤siVeanalysis integratedchip，thepaper method presentsanalysis andsomecraftconditionsofthe IC process．Byanalysingsimple electriccirCuit was is drawn．Imtationt鼯tS thatcollected diagramwithdrawn， landscape prove circuitisidenticalwiththe circuit soasto a f-orothercircuits． practicalanalyzed supplyway circuitof electriccircuit Keywords：integratedsingleslice；withdraw diagram；Iandscape 1 引 言 2 横向尺寸提取及版图绘制 单片集成电路的设计和制造发展迅速，在单片 芯片横向尺寸提取的目的是为了版图的绘制， 集成电路的设计、制造及可靠性的研究中，对各种芯 要经过芯片腐蚀、在显微镜下用数码相机拍照、提取 片进行解剖分析取长补短是很必要的，采用什么方 电路、拼图，最后绘制出版图．在解剖芯片之前应对 法与手段就是关键问题．本文仅以包含一个三极管 芯片表面图形进行拍照，以保留表面版图．通常采用 和电阻的射极输出器”’芯片剖析为例，在试验中通 背景光照射拍摄黑白铝互连线图形，如图l，再拍摄 过对其提取横向和纵向尺寸、绘制版图、电路模拟， 能够分辨各元件位置轮廓的图片，然后，对芯片逐层 对解剖分析集成电路的方法与手段进行了研究，为 腐蚀．通常芯片表面都有一层钝化层，并且工艺中对 分析