提高CCD测量精度的方法研究.docVIP

SEMICOND UCTOR OPTOEL ECTRONICS 　Vol . 31 No. 1 光电技术应用 提高 CCD 测量精度的方法研究 王和顺1, 陈次昌2, 黄惟公1 ( 1. 西华大学 机械工程与自动化学院 , 成都 610039 ; 2. 西南石油大学 机械工程学院 , 成都 610500) Feb. 2010  摘 　要 : 　为了大幅提高 CCD 的测量精度 ,提出了一种全新的 CCD 使用方法 。该方法是将像 素间距为 H 的 CCD 器件的像素行沿与被测边缘垂直方向成一定角度α来进行摆放 。此时 ,单线 阵 CCD 的最大测量误差减小为 H ×co sα, N 个线阵 CCD 等距错排并以α角度斜放 ,最大测量误差 将减小为 ( Hco sα) / N ,当列间距为 h 的面阵 CCD 沿被测对象轴向斜放时 ,最大测量误差减小为 h ×sinα。分别采用单 CCD 和双 CCD ,对直径为 5 . 000 ,8. 000 和 12 . 000 mm 的三个标准杆件的直 径进行了测量 。结果表明 ,双 CCD 斜放 ,可获得更高的测量精度 。该方法可从理论上彻底打破 CCD 像素间距的限制 ,并使 CCD 的测量精度大幅度地提高 ,进一步拓展 CCD 的应用范围 。 关键词 : 　光学测量 ; 高精度测量 ; CCD 测量 ; 像素间距 中图分类号 : TP391 . 41 　文献标识码 : A 　文章编号 : 1001 - 5868 (2010) 01 - 0136 - 04 Research on Methods of Improving CCD Measurement Accuracy WAN G Heshun1, C H EN Cichang2, HU AN G Weigo ng1 ( 1. Institute of Mechanical Engineering and Automation , Xihua University , Chengdu 610039 , CHN; 2. Institute of Mechanical Engineering , Southwest Petroleum University , Chengdu 610500 , CHN) Abstract : 　Fo r o btaining higher CCD mea surement accuracy , a new met ho d i s p ropo sed. Several CCD are fit to get her by t he di stance of H1 = H/ N wit h a certaint y angle of α, H refer s to t he pixel pitch , and N i s t he number of linear CCD. By t his means , t he maximum erro r of single linear CCD i s reduced to H ×co sα, t hen t hat of multi2linear CCD i s reduced to Hco sα/ N , and t hat of plane CCD i s reduced to h ×sinα( h i s t he row space of plane CCD) . Three standard poles wit h resp ective diameter of 5. 000 mm , 8 . 000 mm and 12. 000 mm are measured wit h single CCD o r t wo2inclined CCD seperately. The result show s t hat using t wo2inclined CCD gains higher accuracy. Thi s met ho d can avoid t he rest rictio n of pixel pitch t heo retically , so higher measuring accuracy and wider applicatio ns of CCD will be achieved. Key words : 　op tics measurement ; high accuracy measurement ; CCD measurement ; pixel pitch  0 　引言 CCD 图像传感器自问世以来 ,由于其具有高灵 敏度 、低噪声 、长寿命 、低功耗和高可靠性等优点 ,得 到广泛的应用 。CCD 的像素间距小 ,