软X射线多层膜反射镜反射率测量.pdf

　第 12 卷　第 1 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 12, . 1　 V o l N o 　2000 年 2 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Feb. , 2000　 ( ) 文章编号: 1001- 4322 2000 01- 058- 03 软 X 射线多层膜反射镜的反射率测量 谷渝秋, 淳于书泰, 李玉同, 张启仁, 尤永禄 ( 中物院核物理与化学研究所, 等离子体物理国家级重点实验室, 绵阳 919-216 信箱, 621900) 　　摘　要: 　采用线状激光等离子体作为软X 光源, 用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对 正入射多层膜反射镜进行了反射率测量。谱仪测谱范围 20nm～ 40nm , 谱分辨 0. 05nm , 测得 50 层 反射镜在中心波长 28. 6 处反射率为 22% ±4% , 带宽约为 2. 5 。 C A l nm nm 　　关键词: 　X 光多层膜镜; 反射率; 激光等离子体 　　中图分类号: O 434. 14　　　　文献标识码:A [ 1 ] 　　近年来, 由于多层膜反射镜在软 光波段具有高反射率和带通滤波的特点, 在 光显微镜 、 光 X X X [ 2 ] 激光双程放大 、 光激光探针诊断等离子体密度中得到广泛应用。在这些应用中, 多层膜镜一般工作 X 在正入射条件下, 同时要求在特定的波长有较高的反射率和较窄的带宽, 然而无缺陷制造X 光多层膜 ( ) 镜是很困难的, 因为一般多层镜的镀层从几十层到几百层, 而每一层的厚度 正入射时 在 14 入射波长 左右。在目前的技术下, 缺陷是很难避免的。这些缺陷会造成反射率下降, 甚至造成根本无反射率。因 此, X 射线多层膜反射镜的反射率测量对有效地发展多层膜反射镜是非常重要和必不可少的。然而, 测 量X 光反射一般都用同步辐射源或X 射线管, 前者非常庞大而代价高昂; 后者发射的X 射线一般在 250eV 以上, 对软X 光多层膜镜反射率的测量无能为力。而激光等离子体 X 光源作为一种高效便捷的 软X 光源正得到广泛应用, 在国外一些实验室已经建立了基于激光等离子体源的专用反射率计。它一 般采用商业化的高重复频率 ∶ 脉冲激光器, 经过非球面镜聚焦后形成点状等离子体源, 等离子 N d YA G 体源发出连续X 光, 再用单色仪单色化后用于反射率和透过率测量[ 3, 4 ]。 　　我们正在发展基于软 X 光激光的莫尔干涉仪, 其中软 X 光多层膜镜是非常重要的成像元件和带通 滤波器, 反射镜的好坏直接关系到实验的成败。为了检验多层膜镜的质量和得到确切的反射率值, 我们 利用现有的实验条件, 设计了一种简便的反射率测量方法。利用此方法, 我们测量了长春光机所研制的 50 层 反射镜在 20 ～