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1034XA-6 自动探针台操作规范 作者：刘爱华 版本号：1.0 1、设备名称：1034XA-6 自动探针台 型号： 1034XA-6 序号： 图1 设备所在位置（ 标示处） 2 、设备功能和规格指标 ： （1）设备功能：1034XA-6 自动探针台是一种精密测试设备，用于芯片测试和芯 片性能分档。其基本功能是跨接在晶圆片和测试仪之间，通过探针提供从 晶圆片各压焊管脚到测试仪器之间的电学连接。该设备由探针台模块和电 源模块组成，能实现快速、精确的X-Y二维定位，圆片对准采用半自动方 式进行，对于失效芯片由打点器自动打点标记。探针台运行在程序控制下 自动进行，测试圆片最大为5”(直径127mm)。 （2 ）规格指标： ①探针台模块：长762mm、宽610mm ②电源模块：长381mm、宽610mm ③外接动力：110V/220V AC，50/60Hz ④压缩空气：65~85psi ⑤真空：45.