射频技术中的纳米电子学-硬件和射频工程师.pdfVIP

射频技术中的 纳米电子学 Peter Russer, Nikolaus Fichtner 今天，纳米技术已成为一个非常重要的技术领域， 从多学科角度来说，它涵盖了纳米级科学和技术的 方方面面。它所表征的是对100nm 直到1nm 数量级 的原子尺寸下的物质的理解和控制。100nm 以下的尺寸 范围被称为纳米尺度范围[1]，[2]。纳米技术不仅可以实现 器件的小型化，增强集成密度，还会使器件具有非同寻常的 物理，化学和生物特性。纳米电子技术包含了纳米数量级的众 多技术，即，纳米电子，纳米材料和其它纳米器件，以及用于纳 米制造与测量的分析设备和技术[3]。 在技术和市场需求的推动下，半导体电子学已经找到了自身进入纳 米级尺度的途径。除此之外，众多基于独特材料和新概念基础上激动人心 的研究项目带来了新型的纳米电子器件，提供了进行技术创新的可能性。关 于今后二十年中纳米器件在电子器件的研究领域将会占据统治地位的这种估测显 ©DIGITAL VISION PHOTODISC 然是非常正确的。 另一方面，纳米电子学影响着半导体电子学的发展，所带来的结果不仅仅是更高的 集成度，还可以从根本上改善射频特性。除此之外，新型的纳米电子材料和器件，如碳 纳米管（CNT ），石墨烯纳米带（Graphene nanoribbon ），自旋翻转电子器件，以及超导 量子干涉器件将会在中期阶段，即 10-20 年之后出现。这些开发工作不仅是基于新技术 之上，而且还是基于新型的理论概念的，要求进行包括传输效应， 电磁场和量子力学等 ____________________________________________________________________________ Peter Russer (russer@tum.de) and Nikolaus Fichtner are with the Institute for Nanoelectronics, Technische Universität München, Arcisstrasse 21, 80333 Munich, Germany May 2010 IEEE microwave magazine 119 由于许多纳米电子器件在从微波直到 象在今后二十年中纳米技术的开发依然会遵循摩尔定律。 自2005年以来，ITRS 同样已经开始探讨CMOS技术的扩 光频这个射频频段中表现出最有趣的 展以及采用全新的方法，包括新的制造模式来进一步减 特性，因此纳米电子学是微波工程领 小每个功能的成本[9]。在这份文件中，人们对主要的开 域所面临的一个巨大的挑战。 发趋势归类如下： • 更摩尔定律(More Moore) ：这些开发旨在将 多物理模拟。 100nm以下的电路元件进一步减小到CMOS技术 由于许多纳米电子器件在从微波直到光频这个射频 的物理极限，以及实现在片系统完整的交互作 频段中表现出最有趣的特性，因此，纳米电子学是微波 用。 工程领域所面临的一个巨大的挑战。为了填补纳米科学 • 超摩尔定律(More than Moore) ：这个分支要超越