03 第三章 粒子(束)及材料及相互作用.pptVIP

第三章 粒子（束）与材料的相互作用 第一节 电子束与材料的相互作用 散射，电子与固体作用产生的信号，电子激发产生的其它现象 第二节 离子束与材料的相互作用 散射，溅射与二次离子 西南科技大学 张宝述 第一节 电子束与材料的相互作用 入射电子照射固体时，与固体中粒子的相互作用包括： （1）入射电子的散射； （2）入射电子对固体的激发； （3）受激发粒子在固体中的传播。 一、散射 当一束聚焦电子沿一定方向射到固体上时，在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，这种现象称为（电子）散射。 有散射弹性和非弹性散射之分。 原子中的原子核和核外电子对入射电子均有散射作用。 对比：物质对X射线的散射 1. 原子核对入射电子的散射 有弹性散射和非弹性散射。 散射损失的能量 散射角（2?）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 非弹性散射损失的能量?E转化为X射线: 式中，h是普朗克常数，c是光速，?及?分别是X射线的频率与波长。 此X射线为连续X射线，没有特征性。 2. 核外电子对入射电子的散射 原子中核外电子对入射电子的散射作用是一种非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的能量部分转变为热，部分使物质产生各种激发现象，如原子电离、自由载流子、二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等。 因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。 3. 散射截面 入射电子被原子核散射时，散射角2?的大小与瞄准距离（电子入射方向与原子核的距离）rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关，其关系为 （3-2） ?rn2叫做弹性散射截面，用?n表示。 当入射电子与核外电子作用时，散射角2?为 （3-3） ?re2为核外电子的非弹性散射截面，用?e表示。 弹性散射截面为?n 非弹性散射截面则为所有核外电子非弹性散射截面之和Z?e，则 原子序数越高，产生弹性散射的比例就越大。 4. 电子吸收 电子吸收：由于电子能量衰减而引起的强度（电子数）衰减。 不同于X射线的“真吸收”。 电子被吸收时所达到的深度称为最大穿入深度（R）。 二、电子与固体作用产生的信号 1.电子与固体作用产生的信号 2.电子非弹性散射平均自由程和信息深度 3.电子能谱 入射电子与原子相互作用产生的各种信息 1. 电子与固体作用产生的信号 2. 电子非弹性散射平均自由程和信息深度 入射电子、二次电子和背散射电子在固体中传播时，不断经受非弹性散射，相继两次非弹性散射之间电子所经过的平均路程称为电子非弹性散射平均自由程，用?e表示。 3. 电子能谱 三、电子激发产生的其它现象 1.等离子体振荡 2.电声效应 3.电子感生电导 4.阴极荧光 自学了解。 第二节 离子束与材料的相互作用 一、散射 二、二次离子 动量和能量转移是离子与固体相互作用的重要特征。 一、散射 离子与固体原子的碰撞可以用台球间的碰撞来描述。 对碰撞过程的约束（来自电子的非弹性散射）可想像为在台球桌面上有一层水，即在两次碰撞之间也有能量损失。 因此，离子的能量取决于碰撞过程和碰撞之间所经历的路程。 1. 弹性散射 离子弹性散射的两大特点： ①散射几率正比于Zl和Z2的平方，因此，当入射离子由H+变为He+时，散射几率增加4倍； ②散射几率正比于1/sin4?，强烈地依赖于散射角2?，2?=90?的散射几率是2?=180?的4倍。 2. 非弹性散射 离子在固体中传播时，由于被电子非弹性散射产生的能量损失率称为固体对离子的阻止功率。 与离子的种类、能量以及样品的成分有关。 二、溅射与二次离子 1.离子溅射 能量为E0的入射离子轰击固体时，直接或间接地迫使固体表面许多原子运动，这种过程称为级联碰撞。 当表面原子获得足够的动量和能量背离表面运动时，就引起表面粒子（原子、离子、原子团等）的发射，这种现象称为溅射。 溅射产额（Y）定义为溅射出的粒子数（Ns）与入射离子数目（N0）的比值 Y=Ns/N0 2. 二次离子 固体表面发射的离子叫做二次离子。 收集分析二次离子得到二次离子质谱。 可以用于分析所有元素（包括氢和所有同位素）。 教学目的及要求 1．理解概念：（电子的）最大穿入深度、连续X射线、特征X射线、溅射；掌握概念：散射角（2?）、电子吸收、二次电子、俄歇电子、背散射电子、吸收电流（电子）、透射电子、二次离子。 2．了解物质对电子散射的基元、种类及其特征。 3．掌握电子与物质相互作用产生的主要信号及据此建立的主要分析方法。 4．