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高功率激光反射镜的几个关键技术Ξ-强激光与粒子束
第10卷 第4期 强 激 光 与 粒 子 束 . 10, . 4
V o l N o
1998年11月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S N ov. , 1998
高功率激光反射镜的几个关键技术
邓建明 凌 宁
( 中国科学院光电技术研究所, 成都双流350信箱, 610209)
摘 要 分析了制作高功率连续激光反射镜材料的热性能、缺陷及其加工工艺, 提出了
制作高功率激光反射镜应考虑的几个关键问题: 反射镜材料的综合热性能比值 , 材料的微
S
观结构、缺陷的大小和晶向的选择, 以及加工工艺的设计。并介绍了实验结果。
关键词 反射镜 热性能 缺陷 粗糙度
中图分类号 TN 244
( )
高功率连续激光反射镜 以下简称反射镜 是高能连续激光系统中的主要光学元件, 其质
量的好坏, 直接影响着高能激光系统的性能。过去, 人们只注意研究如何提高反射镜的反射
率, 单纯依靠表面镀膜层的好坏来衡量反射镜的好坏。随着高能连续激光技术的飞速发展,
激光系统中的反射镜承受着越来越高的功率密度, 传统的材料和表面质量标准已不能完全适
应于高能连续激光系统的需要。在现在以及今后的高能连续激光系统中, 制约着反射镜性能
的因素已不单是反射率, 它还包括制作反射镜材料的热性能、微观结构、缺陷、晶向以及加工
工艺等。而这些因素, 不仅在过去, 就是现在也往往被我们的设计者及加工者所忽视。因此,
本文将重点分析这些因素对反射镜的影响。
1 反射镜的材料
1. 1 材料的热性能
反射镜在传输高能激光束时将吸收一定的能量, 这部分能量转化为热能, 由于反射镜材
料的热膨胀、局部热应力以及反射镜固定时的机械应力等原因, 从而使镜面产生形变, 影响
光束的传输质量, 严重的甚至使反射镜炸裂, 使系统不能有效地进行工作。鉴于此, 高能激光
系统中使用的反射镜, 要求其工作时表面形变应在许可的范围以内。机械应力产生的形变可
以通过反射镜固定方式优化处理, 从而将其控制在允许范围以内; 局部热应力产生的形变远
[ 1 ]
远小于热膨胀的形变, 故可忽略不计 。这里我们仅考虑反射镜材料的热膨胀产生的形变。当
激光均匀或集中辐射到反射镜表面时, 根据热传导的数学理论可知, 固体中某个表面的热流
通量与局域温度的梯度成正比, 即:
dT
( ) ( ) ( )
z 0 = -
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