带滚珠丝杠副的精密定位平台轴向刚度建模与测试周泉钢.pdfVIP

《 》20 17 44 6 104 计量与测试技术 年第 卷第 期 ■ 带滚珠丝杠副的精密定位平台轴向刚度建模与测试 周泉钢 章亚男 沈林勇 钱晋武 ( ， 200072) 上海大学精密机械工程系 上海 : ， 。 摘 要 为了满足大尺寸光栅拼接架五维调整的要求 在每个方向上设计了由滚珠丝杠副组成的精密定位平台 精密定位平台中的可动结合部刚度特性 。 ， 。 决定了平台的定位性能 基于赫兹接触理论以及虚拟材料参数化建模方法分别建立了平台轴向静刚度的力学模型和有限元模型 并进行了对比分析 最 后通过实验验证了两种建模方法的合理性。 : ; ; ; 关键词 滚珠丝杠副 刚度 虚拟材料 赫兹接触 中图分类号:TB9 文献标识码:A 国家标准学科分类代码:4 10. 55 DOI :10 ． 15988 /j ． cnki． 1004 － 694 1． 20 17 ． 06 ． 048 Analysis on the Axial Stiffness of Precision Stage Joint With Ball Screw Zhou Quangang Zhang Yanan Shen Linyong Qian Jinwu 1 、 引言 精密定位平台的轴向刚度主要由螺母丝杠副 支承 ， 。 2 。 在高能激光脉冲研究领域 为了在大型啁啾脉冲放 轴承和丝杠三部分决定 其轴向刚度力学模型如图 ， 支 承轴承 丝杠 螺母丝杠副 工作顶杆 大系统中获得数千焦耳皮秒级的激光脉冲输出 必须有 米量级的大口径高效率的衍射光栅。采用机械拼接方式 将多块小光栅来组成大光栅已成为国内外获取大口径光 栅的重要方法。 1， 本文设计的精密定位平台的基本结构如图 采用 2 图 精密定位平台轴向刚度模型 、 ， 了滚珠丝杠副传动 交叉滚子导轨导向的方式 同时由光 Ka 精密定位平台轴向刚度 可以表示为 电编码器和电容传感器分别作大、 ， 小行程的位置反馈 用 1 1 1 1 = + + (1) Ka Kan Kab Kas 于大口径衍射光栅的机械拼接装置中。