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表1一I—i:半导体集成电路光刻技术发展路线图
最近ITRS发表的发展线路图如图l一1—2所示:
图l—l--2:ITRS发展线路图
随着技术节点的不断跟进,门延迟时间在4i断降低。然而,互连延迟却随着
集成电路技术节点的跟进而提高。
当技术节点缩小到250nm以下时,互连延迟将首次超过门延迟。而对于图1
一l一2中所示的LowK材料,两种延迟的交叉点在130nm技术节点。
对于130nm技术节点,当用LowK材料取代二氧化硅作为注入式激光二极
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