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2、电荷放大器 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器，若放大器的开环增益A0足够大，且放大器的输入阻抗很高，则放大器输入端几乎无分流，运算电流仅流入反馈回路CF与RF。由图可知i的表达式为： －A0 Ca U∑ USC 电荷放大器原理电路图 i Ra q CF RF 根据上式得出等效电路图如图 －A0 Ca Ra R’ C’ USC U∑ q CF、RF等效到A0输入端时，电容CF增大(1＋A0)倍。电导1/RF也增大(1＋A0)倍。所以C?=(1＋A0)CF；1/R?=(1＋A0)/RF，这就是所谓“密勒效应”的结果。 运放输入电压 输出电压 当A0足够大时,传感器本身的电容和电缆长度不影响电荷放大器的输出。输出电压USC只决定于输入电荷q及反馈回路的参数CF和RF。由于1／RFωCF, 则 若考虑电缆电容Cc，则有 可见：A0足够大时，输出电压与A0无关，只取决于输入电荷q和反馈电容CF，改变CF的大小可得到所需的电压输出。 CF一般取值100-104pF。 运算放大器的开环放大倍数A0对精度有影响，频率很高时，则 及 由此得A0＞105。对于线性集成运放，这一要求易达到。 例：Ca=1000pF,CF=100pF,Cc=(100pF/m)×100m=105pF,当要求δ≤1%时，则有 则可计算产生的误差为 当工作频率很低时，电导[1/Ra+(1+A0)/RF]与电纳 jω[Ca＋Cc＋(1+A0)CF]的值相当，电导不可忽略。此时A0足够 大，则 其幅值为 当1/RF = ω CF时 可见，这是截止频率点的输出电压，增益下降3dB时对应的下限截止频率为 USC与q间的相位误差： * * 它基于某些电介质的压电效应，是典型的自源型传感器 功能：压电元件是力敏元件，能测量最终能变换为力的 物理量，例如力、压力、加速度等。 特点：响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简、工 作可靠、重量轻；主要不足：无静态输出，输出阻抗高 应用：随着与压电传感器件配套的二次仪表及低噪声、 小电容、高绝缘电阻电缆的出现，压电传感器的使用 更方便。在工程力学、生物医学、石油勘探、电声学 等许多技术领域中获得广泛应用。 2.4? 压电式传感器? 一、压电效应 正压电效应（顺压电效应）： 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部产生极化现象，同时，在其一定表面上产生电荷；当外力去掉后，又重新恢复不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷极性也随着改变。 逆压电效应（电致伸缩效应）： 当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失的现象。 电能 机械能 正压电效应 逆压电效应 （一）石英晶体的压电机理 天然石英晶体的结构外形可视为一个六角棱柱体，晶体学中用三根互相垂直轴表示该结构，其中纵向轴Z－Z称为光轴；过正六面体棱线，并垂直于光轴的X－X轴称为电轴；与X－X轴和Z－Z轴同时垂直的Y－Y轴（垂直于正六面体的棱面）称为机械轴。 Z X Y (a) (b) 石英晶体 (a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 Z Y X 把沿电轴X－X方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”；把沿机械轴Y－Y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴Z－Z方向受力则不产生压电效应。 石英晶体的压电效应是由其内部结构决定的。组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面投影，如图(a)。为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为图(b)中正六边形排列，图中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。 (b) (a) + + - - - Y X X Y 硅氧离子的排列示意图 (a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影 + 当作用力FX=0时，正、负离子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六边形顶角上，形成三个互成120o夹角的偶极矩P1、P2、P3，如图（a）所示。此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 P1＋P2＋P3＝0 如图b所示, 当晶体受到沿X方向的压力（FX0）作用时，晶体沿X方向将产生收缩，正、负离子相对位置随之发生变化，此时正、负电荷中心不再重合，电偶极矩在X方向的分量为(P1+P2+P3)X0 在Y、Z方向上的分量为 (P1+P2+P3)Y=0 (P1+P2+P3)Z=0 由上式看出，在X轴的正向出现正电荷，在Y、Z轴方向则不出现电荷。 Y + + +