3-RRR并联微动工作台精度保证技术的分析研究.pdf

3-RRR并联微动工作台精度保证技术研究 摘 要 近年来，由于平面3．RRR并联微动工作台具有刚度大、承载能力强、误差 小、精度高等一系列优点，人们对其的研究日益增加。本文结合一种平面3-RRR 并联工作台，在前人完成了理论分析、工作台研制以及结构优化设计等工作后 继续对微动工作台的运动学、系统误差分析和控制策略等方面进行了研究。 论文首先提出了并联微动台伪刚体模型位姿反解、正解的方法，并在此基 础上进行雅可比矩阵的计算，揭示工作台的运动性能。通过静力学进一步分析 机构的静刚度；分析机构的动力学特性，为后续的运动控制和机构优化做准备。 随后建立微动工作台的误差模型，并对结构误差对工作台的影响进行了分 析，对误差造成的影响给出了评价；还利用压电陶瓷的迟滞、蠕变等特性的研 究成果，对驱动系统引起的误差进行分析。 最后提出并建立实验系统控制策略，利用Matlab对微动工作台进行运动学 和控制仿真的实验，并依此实现了对工作台的简单控制。 关键词：并联微动工作台，运动性能分析，误差模型，控制策略 Researchon the of3-RRRParallel ensuringaccuracy Micro-Motion Stage Abstract Inrecent ofanumberof in 3-RRR years，because advantagesplanar parallel micro-motionas errorand stage，suchstiffness，load-bearingcapacity，lowhigh the 3-RRR micro—motion is research．Inthis precision,itincreasing paper，a parallel willberesearchedonits error andcontrol stage kinematics，thesystemanalysis asstructural whenitstheoretical manufactureof aswell strategy analysis，the stage havebeenresearched． optimization Inthis anddirect ofthe3-RRRmicro-motion thesis，inverse analysis position isderivedbasedonthe alinear， stage pseudo-rigid—boaymodel(PRBM)．As are stiffnessof effectivekinematics methods model，constant-Jacobipresented．The the isunderwoodthestatic