脉冲射频等离子体聚合沉积乙烯基乙酸.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 #! * !2 * ， ， ， UV: )#! TV )* WX:D !2 （ ） $02!%P!2P#! * P $**0* 96Q9 ,ER4S69 4STS69 !!2 6?=L ) ,?DB ) 4V ) 脉冲射频等离子体聚合沉积乙烯基乙酸! 张 菁 冯祥芬 谢涵坤 施芸城 蒲天舒 （东华大学理学院，上海 !#$） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） !! % $ !! $$ $’ 通过脉冲射频等离子体聚合方法获得乙烯基乙酸沉积薄膜，并用红外光谱、射线光电子能谱、表面张力、微分 ( 扫描量热分析及扫描电子显微镜等测试方法研究聚合沉积薄膜的化学结构、表面物理形貌与脉冲放电条件的关 系 实验结果表明，采用脉冲放电，在脉冲占空比较低时，能够保留较多的完整的单体分子官能团 如果脉冲占空 ) ) 比较高或是采用连续波放电时，聚合沉积薄膜的化学结构与单体相比有较大改变 聚合沉积薄膜在放置一段时间 ) 后表面为规整的高度交联的网络状结构 放电形式不同，结构有所区别 因此可以根据实际需要，选择不同的放电 ) ) 参数，“保留”或“裁剪”特定单体分子官能团，以便得到符合预期结构要求的聚合沉积薄膜) 关键词：等离子体聚合，脉冲射频放电，乙烯基乙酸 ： ， ， !## #!*#+ #!’, ’% 法，在不同的放电条件下聚合单体乙烯基乙酸 并 ) 用红外光谱、射线光电子能谱（ ）、微分扫描量 $1 引 言 ( 3,4 热（ ）分析、扫描电子显微镜（ ）等测试方法较 546 4.7 低温等离子体表面处理技术由于具有工艺简 详细地研究了脉冲射频放电参数对聚合膜化学结构 单，操作简便，易于控制，对环境无污染等优点，正受 和表面物理形态的影响) 到越来越广泛的应用) 用等离子体方法制备的聚合 膜厚度可以从数十纳米至数微米，薄