超精密双面抛光机动态仿真及工艺参数优化.pdfVIP

超精密双面抛光机动态仿真及工艺参数优化研究 摘要 超精密抛光技术作为制造业发展的标志之一，已深入到了航空航 天、军事、集成电路、民用设备等诸多领域。但目前国内发展水平仍 处于较低阶段，对抛光原理了解不够深入，加工过程也过多的依赖经 验，效率低下。本文受“先进制造技术与装备”浙江省重中之重学科 项目资助，运用虚拟样机这一近年来得到迅速发展和广泛运用的先进 制造技术对超精密双面抛光机的机械去除作用进行了深入分析。重点 研究了抛光工艺参数、加工工件的运动特性以及抛光结果三者间的关 系。主要研究内容如下： (1)针对化学机械抛光的影响因素，和双面抛光机的结构功能特 点，在理论分析的基础上，采用三维实体建模软件SolidWorks与动力 学分析软件AD舢vIS联合建模，定义了抛光机构的虚拟样机。 (2)通过对建构模型的定性分析与定量验证，确保了虚拟样机的正 确性，并进一步完善模型，提高其精确性。在此基础上，通过对加工 工件的运动仿真，研究了抛光机构输入参数与工件运动状态间的关系， 以及工件表面上各点间的运动关系，为进一步研究工件运动特性对抛 光结果的影响奠定了基础。 (3)提出了以抛光去除率的Preston方程与工件运动轨迹作为评价 抛光效率和均匀性的指标。分别就施加载荷、抛光盘转速、行星轮输 入转速等抛光工艺参数对两者的影响进行了深入分析，明确了参数取 值与抛光结果间的联系。并通过优化仿真，得到了取得最佳抛光结果 的各个工艺参数的取值，指导实际抛光加工的进行。 本文采用的分析方法和得出的结论，不仅对双面抛光机的工艺参 数的合理设置具有一定的实用价值，而且也为今后的研究工作提供了 一定的理论依据。 关键词：化学机械抛光，虚拟样机，动态仿真，抛光去除率，运动轨 迹，优化 AND DYNAMICSIMULATIoN TECHNOLOGICEU良AJⅥETERS M-ACHINE OFU1月RA．PRECISIONPLANARPoLISmNG ABSTRACT Asoneofthe manufacture， keytechnologies．indeveloping is inbroad as polishingapplied areas，suchaviation, ultra-precision andSOon． affairs，demotic spaceflight，integratecircuit,military equipment inour isfar behindthe technology Presently,the countryaway developed theoriesare further themost countries．The not studied，and polishing technicsis on whichleadstolow polishingprocess dependedexperience is Advanced productionefficienc