【2017年整理】30-静电放电发生器模型的研究及应用.pdfVIP

科技广场 2011.7 静电放电发生器模型的研究及应用 Study and Application of ESD Generator Model 田巍石磊 Tian Wei Shi Lei （河南城建学院电气与电子工程系，河南平顶山467036） （Department of Electrical and Electronic Engineering ，Henan University of Urban Construction ， Henan Pingdingshan 67036） 摘 要：随着微电子元件的广泛应用，静电危害现象日益突出。ESD 是一种很难重复的随机过程。在这 种情况下，本文根据IEC61000-4-2 标准，构建等效人体- 金属模型的静电仿真电路，对放电过程进行仿真分 析，为静电发生器放电回路结构及元件参数的确定及参数对ESD 放电过程的影响提供一定的理论参考依 据，还为更好的了解ESD 过程的特点及影响因素，从而进行有效的ESD 保护等研究方面提供了便捷、可靠 的研究手段。仿真结果表明静电波形参数均在标准误差范围之内。由此证明模型参数设计正确，对ESD 过程 分析合理。 关键词：ESD ；人体- 金属模型；影响规律；参考依据 中图分类号：TM15 文献标识码：A 文章编号：1671-4792-(2011)7-0082-03 Abstract ：Phenomenon of electrostatic hazards is becoming increasingly prominent with wide application of microelectronic elements. Electrostatic discharge (ESD) is a stochastic process which is difficult to repeat. Ac- cording to the request of standard IEC61000-4-2, simulation circuit of the equivalent Human-Metal Model is es- tablished, discharging process is simulated and analyzed, so the structure of discharging circuit and element pa- rameters can be determined to some extent, and the characteristics and influencing factors of ESD process can be known better. Simulation results show that waveform parameters are all within the range of standard errors, which proves that the design of model parameters is correct, the analysis of ESD process is reasonable. Keywords ：Electrostatic Discharge (ESD); Discharging circuit; Human-Metal Model; Simulation 0 引言 IEC61000-4-2 标准中，对ESD 发生器的构成、性能 在人们的日常工作生活中，静电放电(Electro- 要求及波形校验等都有较详细的介绍。 static Discharge，ESD)现象可谓无处不在。所谓静电 (1）ESD 发生器回路简图 放电，是指带电体周围的场强超过周围介质的绝缘 击穿场强时，因介质产生电离而使带电体上的静电 荷部分或者全部消失的现象[1]。在电子工业领域，全 球每年因为静电造成的损失高达百亿美元。 ESD 抗扰度试验是模拟操作人员或物体在接 触设备时的放电以及人或物体对临近物体的放电