【2017年整理】32-静电放电模型及其失效特征.pdfVIP

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2017-12-20 发布于浙江
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【2017年整理】32-静电放电模型及其失效特征.pdf

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【2017年整理】32-静电放电模型及其失效特征

可靠性分析与研究质量工程卷 R Quality Engineering e l i a b i l i t y A 静电放电模型及其失效特征 n a l Electrostatic Discharge and Failure Signature y s i s Chen Xiao-bin, Wang Hui a 陈晓斌，汪辉 n (S c hoo l of M ic roelect ronic s , （上海交通大学微电子 d S hanghai J iaot ong Univ ers ity , 学院，上海 200030） S hangha i 200030 , China) R e s e a r 摘要:本文介绍了人体模型、机器模型和带电器件模型等三种静电放电模型及其模拟测 c h 试方法，重点对这三种静电放电模型的失效特征进行了对比分析。对这些失效特征的深入了解，有助于工程师在失效分析时能够判断出静电放电的类型，从而更有效地帮助调查静电放电的根源。关键词:失效分析；静电放电模型；失效特征；电过应力；防静电保护电路 26 中图分类号:TN406文献标识码：A 文章编号:1003-0107(2006)09-0026-03 A bs tract: T his paper int roduces t hree kinds of ES D models Human Body Model(HBM) , Mac hine Mode l(M M) and C harged Dev ice Model (C DM) a nd t he ir test met hods . ES D fai lure s ignat ures of t he t hree ES D models observ ed in failure analys is are disc ussed in details . This work w ill help for ident ify ing ESD failure model in failure analys is and for finding ES D source . Key w o rds : Failure A naly s is ; ES D Model ; Fail ure S ignat ure ; EOS (E lect rica l Ov erst ress ) ; ES D P rot ect ion Ci rc uit